為評估AA形狀扭曲對器件性能的影響,我們用SEMulator3D建模了0.1,2.5和5度的側(cè)壁裂角以模擬不同程度的AA扭曲,并使用來自全環(huán)路DRAM結(jié)構(gòu)的單個器件進(jìn)行了電氣分析。

通過SEMulator3D分配電端口（源極、漏極、柵極和襯底)即可獲得電氣測量值,之后使用SEMulator3D內(nèi)置漂移/擴(kuò)散求解器即可計算不同程度AA扭曲可能導(dǎo)致的電氣性能變化。

不同側(cè)壁角度下鰭片的斷態(tài)漏電流分布�？梢钥闯�，無論側(cè)壁角度如何，大部分漏電流集中在鰭片的中心，它們遠(yuǎn)離柵極金屬，柵極電場對其沒有太大影響。

制造商:Diodes Incorporated 產(chǎn)品種類:整流器 安裝風(fēng)格:Through Hole 封裝 / 箱體:DO-41-2 Vr - 反向電壓 :1 kV If - 正向電流:1 A 類型:Standard Recovery Rectifiers 配置:Single Vf - 正向電壓:1 V 最大浪涌電流:30 A Ir - 反向電流 :5 uA 恢復(fù)時間:2 us 最小工作溫度:- 65 C 最大工作溫度:+ 175 C 封裝:Cut Tape 封裝:Reel 高度:2.71 mm 長度:4.7 mm 產(chǎn)品:Rectifiers 端接類型:Axial 寬度:2.71 mm 商標(biāo):Diodes Incorporated Pd-功率耗散:- 產(chǎn)品類型:Rectifiers 工廠包裝數(shù)量5000 子類別:Diodes & Rectifiers 單位重量:300 mg

除輸入端低頻端駐波略差外，其余均滿足設(shè)計要求，因為Gysel的輸入端外接有隔離器，對外圍電路的穩(wěn)定性不會有影響。

而S21和S31的幅值在-3.3 dB和-4.2 dB之間，很好地滿足了帶內(nèi)起伏0.8 dB的設(shè)計要求。Z2優(yōu)化后非常接近于50 Ω，因此只需對Z1和Z3的優(yōu)化即可。

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