計量是半導(dǎo)體制造的一個重要部分，在生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)測量多種氣體的濃度，可以確保滿足工藝余量，同時盡量減少浪費。以前的解決方案依賴于光發(fā)射光譜測量和殘余氣體分析儀，但這些傳統(tǒng)方法已不能滿足當(dāng)今先進存儲器和邏輯工藝所需的速度和靈敏度。

相反，Aston使用創(chuàng)新質(zhì)譜技術(shù)，采用同類最佳傳感器，可提供快速的結(jié)果和出色的靈敏度，以及抵抗腐蝕性氣體和冷凝物所需的堅固性。

Atonarp與韓國ATI公司合作,為該地區(qū)客戶提供蝕刻,CVD、空間ALD和Sub-fab應(yīng)用的綜合解決方案。

易于安裝到資產(chǎn)中，同時保持機械耦合信號的完整性

具有IEPE數(shù)據(jù)輸出格式的寬帶寬MEMS加速度計傳感器

IEPE、模擬輸入帶寬從DC到54kHz的高保真數(shù)據(jù)采集(DAQ)解決方案

嵌入式網(wǎng)關(guān)捕捉和存儲原始數(shù)據(jù)，用于本地或聯(lián)網(wǎng)處理

使用ADI的IIO示波器應(yīng)用實時顯示頻域數(shù)據(jù)

直接將傳感器數(shù)據(jù)流傳輸至熱門的數(shù)據(jù)分析工具，例如Python和MATLAB®

CbM開發(fā)平臺主要由四種不同的元件構(gòu)成整個組合解決方案。

構(gòu)成CbM開發(fā)平臺的元件,高度精準(zhǔn)、高保真的數(shù)據(jù)捕捉和處理壓電傳感器的高成本都阻礙了對重要性較低的資產(chǎn)實施狀態(tài)監(jiān)控。

使用經(jīng)濟高效的方法來持續(xù)監(jiān)控中低等重要性的資產(chǎn)。我們可以利用先進的振動傳感技術(shù)，輕松識別和修復(fù)資產(chǎn)上不必要的磨損，幫助延長資產(chǎn)的使用壽命。這也有助于提高設(shè)備的整體效率，減少機器或工藝停機時間。