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一種等離子體鍍膜電源(圖)

發(fā)布時(shí)間:2007/8/28 0:00:00 訪問(wèn)次數(shù):482


作者:大連海事大學(xué) 莊偉銘

        引言:現(xiàn)代社會(huì)中,某些產(chǎn)品的對(duì)硬度有特殊的要求,為此在工業(yè)生產(chǎn)過(guò)程中往往需要對(duì)這些產(chǎn)品進(jìn)行表面鍍膜,以增加其耐磨性和耐刮性。在物理化學(xué)領(lǐng)域這屬于表面改性,是真空爐中的某些氣體在一定的氣壓和真空度下進(jìn)行強(qiáng)電場(chǎng)等離子體電離。從而對(duì)真空爐中的掛件進(jìn)行表面鍍膜,這就需要一個(gè)高頻脈沖電源對(duì)真空爐的兩個(gè)電極施加一定頻率的電壓場(chǎng)。本文所研制的電源正是為了滿足這種需要的高頻脈沖電源。

        系統(tǒng)介紹:本電源設(shè)計(jì)指標(biāo)是輸出電壓Vp=1000v,最大負(fù)載Is (max)= 20A,額定頻率fs=23KHz。電源采用了三相工頻交流電電源輸入,經(jīng)過(guò)三相可控硅全橋整流濾波后,在通過(guò)全橋逆變和高頻脈沖變壓器升壓。整流用可控硅采用的是SKKT57/12E。開(kāi)關(guān)管采用的使SEMIKRON公司生產(chǎn)的SKM50GB 123D?刂齐娐凡捎肞WM和PID控制,從而得到最終的設(shè)計(jì)指標(biāo)。

        輸入整流濾波電路的設(shè)計(jì):在三相交流輸入電源之間并聯(lián)了三個(gè)RC阻容緩沖電路。

        三相全橋可控硅整流采用市場(chǎng)上成熟的觸發(fā)板控制,通過(guò)電流計(jì)取得電流信號(hào)后送給可控硅觸發(fā)板用于過(guò)電流保護(hù)。

        整流后的濾波電容根據(jù)輸出功率而定,選用兩個(gè)3300uf / 400v的電解電容串聯(lián),兩電容各并聯(lián)一個(gè)100kΩ / 5w的電阻,用于意外跳閘保護(hù)是釋放電容存儲(chǔ)的能量。為了使直流電壓更穩(wěn)定,我們?cè)陔娊怆娙輧啥瞬⒙?lián)了一個(gè)1.5uf /1200v的無(wú)感聚酯薄膜電容,從實(shí)驗(yàn)效果看,這個(gè)電容起到了很好的高頻濾波的效果。

        逆變控制電路:本電源采用的控制脈沖發(fā)生芯片是SG3525。SG3525是電壓型控制芯片,其鋸齒波的波形斜率與發(fā)生的PWM波頻率有關(guān)。它可以驅(qū)動(dòng)雙端變換器,驅(qū)動(dòng)脈沖為圖騰柱推挽輸出,輸出相位相差180度。

        驅(qū)動(dòng)芯片選用富士公司的EXB841。驅(qū)動(dòng)電阻Rg經(jīng)過(guò)實(shí)驗(yàn)選定為10Ω。

        在本電源中,將高壓直流線上電流經(jīng)霍爾元件檢測(cè)后通過(guò)檢測(cè)電阻取樣后濾波放大加至SG3525的10腳,形成閉環(huán),使輸出電流更加穩(wěn)定。

        功率變壓器的設(shè)計(jì)和繞制:這是本電源最有難度的工作。本電源選取了西安三聯(lián)公司的鐵氧體磁芯,由于電源功率很大,磁芯的飽和磁密又小,所以選取四副U型磁芯組成了一副E型磁芯,通過(guò)面積乘積法,選擇了四副U96型磁芯。經(jīng)過(guò)計(jì)算:

        N1=

        實(shí)際取N1=22匝。則N2=44匝,為了減小漏感和臨近效應(yīng)的影響,在此采用初次級(jí)交錯(cuò)繞法,將初級(jí)平分為兩部分繞在次級(jí)兩側(cè)。匝間電壓差為u=500/22=22.7v。我們選用厚度為0.2mm的聚酯薄膜為絕緣材料。初級(jí)采用厚度為0.2mm的銅箔,考慮到安全爬電距離及方便繞制,骨架每邊留出3mm的高度。最后銅箔寬80mm。完全可以通過(guò)額定電流要求。次級(jí)同理,同箔厚0.1mm,寬80mm。繞制好后測(cè)得初級(jí)激磁電感為7.9mH,漏感為13uH,說(shuō)明變壓器初級(jí)繞制成功,無(wú)短路情況。

        整機(jī)的造價(jià)在2000元以內(nèi)。實(shí)驗(yàn)前后2年來(lái)已經(jīng)基本達(dá)到要求的功率要求。


作者:大連海事大學(xué) 莊偉銘

        引言:現(xiàn)代社會(huì)中,某些產(chǎn)品的對(duì)硬度有特殊的要求,為此在工業(yè)生產(chǎn)過(guò)程中往往需要對(duì)這些產(chǎn)品進(jìn)行表面鍍膜,以增加其耐磨性和耐刮性。在物理化學(xué)領(lǐng)域這屬于表面改性,是真空爐中的某些氣體在一定的氣壓和真空度下進(jìn)行強(qiáng)電場(chǎng)等離子體電離。從而對(duì)真空爐中的掛件進(jìn)行表面鍍膜,這就需要一個(gè)高頻脈沖電源對(duì)真空爐的兩個(gè)電極施加一定頻率的電壓場(chǎng)。本文所研制的電源正是為了滿足這種需要的高頻脈沖電源。

        系統(tǒng)介紹:本電源設(shè)計(jì)指標(biāo)是輸出電壓Vp=1000v,最大負(fù)載Is (max)= 20A,額定頻率fs=23KHz。電源采用了三相工頻交流電電源輸入,經(jīng)過(guò)三相可控硅全橋整流濾波后,在通過(guò)全橋逆變和高頻脈沖變壓器升壓。整流用可控硅采用的是SKKT57/12E。開(kāi)關(guān)管采用的使SEMIKRON公司生產(chǎn)的SKM50GB 123D?刂齐娐凡捎肞WM和PID控制,從而得到最終的設(shè)計(jì)指標(biāo)。

        輸入整流濾波電路的設(shè)計(jì):在三相交流輸入電源之間并聯(lián)了三個(gè)RC阻容緩沖電路。

        三相全橋可控硅整流采用市場(chǎng)上成熟的觸發(fā)板控制,通過(guò)電流計(jì)取得電流信號(hào)后送給可控硅觸發(fā)板用于過(guò)電流保護(hù)。

        整流后的濾波電容根據(jù)輸出功率而定,選用兩個(gè)3300uf / 400v的電解電容串聯(lián),兩電容各并聯(lián)一個(gè)100kΩ / 5w的電阻,用于意外跳閘保護(hù)是釋放電容存儲(chǔ)的能量。為了使直流電壓更穩(wěn)定,我們?cè)陔娊怆娙輧啥瞬⒙?lián)了一個(gè)1.5uf /1200v的無(wú)感聚酯薄膜電容,從實(shí)驗(yàn)效果看,這個(gè)電容起到了很好的高頻濾波的效果。

        逆變控制電路:本電源采用的控制脈沖發(fā)生芯片是SG3525。SG3525是電壓型控制芯片,其鋸齒波的波形斜率與發(fā)生的PWM波頻率有關(guān)。它可以驅(qū)動(dòng)雙端變換器,驅(qū)動(dòng)脈沖為圖騰柱推挽輸出,輸出相位相差180度。

        驅(qū)動(dòng)芯片選用富士公司的EXB841。驅(qū)動(dòng)電阻Rg經(jīng)過(guò)實(shí)驗(yàn)選定為10Ω。

        在本電源中,將高壓直流線上電流經(jīng)霍爾元件檢測(cè)后通過(guò)檢測(cè)電阻取樣后濾波放大加至SG3525的10腳,形成閉環(huán),使輸出電流更加穩(wěn)定。

        功率變壓器的設(shè)計(jì)和繞制:這是本電源最有難度的工作。本電源選取了西安三聯(lián)公司的鐵氧體磁芯,由于電源功率很大,磁芯的飽和磁密又小,所以選取四副U型磁芯組成了一副E型磁芯,通過(guò)面積乘積法,選擇了四副U96型磁芯。經(jīng)過(guò)計(jì)算:

        N1=

        實(shí)際取N1=22匝。則N2=44匝,為了減小漏感和臨近效應(yīng)的影響,在此采用初次級(jí)交錯(cuò)繞法,將初級(jí)平分為兩部分繞在次級(jí)兩側(cè)。匝間電壓差為u=500/22=22.7v。我們選用厚度為0.2mm的聚酯薄膜為絕緣材料。初級(jí)采用厚度為0.2mm的銅箔,考慮到安全爬電距離及方便繞制,骨架每邊留出3mm的高度。最后銅箔寬80mm。完全可以通過(guò)額定電流要求。次級(jí)同理,同箔厚0.1mm,寬80mm。繞制好后測(cè)得初級(jí)激磁電感為7.9mH,漏感為13uH,說(shuō)明變壓器初級(jí)繞制成功,無(wú)短路情況。

        整機(jī)的造價(jià)在2000元以內(nèi)。實(shí)驗(yàn)前后2年來(lái)已經(jīng)基本達(dá)到要求的功率要求。

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