金屬板置于變化著的磁場中，G692L463TCU或者在固定磁場中運動時，金屬體內(nèi)就會產(chǎn)生感應電流，這種電流的流線在金屬體內(nèi)是閉合的，所以叫作渦流。電渦流式位移傳感器通過自身線圈產(chǎn)生變化的磁場，金屬體在磁場內(nèi)產(chǎn)生渦流，傳感器再通過電磁應感受渦流的變化來實現(xiàn)對參數(shù)的測量。由于存在集膚效應，因此，渦流滲透的深度是與傳感器線圈勵磁電流的頻率有關的。電渦流式位移傳感器主要可分為高頻反射式渦流傳感器和低頻透射式渦流傳感器兩類。高頻反射式渦流傳感器的應用較為廣泛。

   如圖5 -22所示，傳感器線圈￡距厚金屬板高石。線圈通以高頻信號，產(chǎn)生的高頻電磁場作用于金屬板的表面。金屬板表面感應產(chǎn)生渦流，其產(chǎn)生的電磁場又反作用于線圈L上，使線圈電感等效變化，其變化程度取決于線圈￡的外形尺寸、線圈￡至金屬板之間的距離戈、金屬板材料的電阻p和導磁率肛（p及肛均與材質(zhì)及溫度有關），以及i。的頻率等。由于趨膚效應，高頻電磁場不能透過具有一定厚度的金屬板，而僅作用于表面的薄層內(nèi)，這就保

證了傳感器感應的信號來自金屬板反射，故名高頻反射式渦流傳感器。對非導磁金屬(弘一1)而言，若i。及￡等參數(shù)已定，金屬板的厚度遠大于渦流滲透深度時，則表面感應的渦流幾乎只取決于線圈￡至金屬板的距離，而與板厚及電阻率的變化無關。

   如圖5 -23所示為高頻反射式渦流傳感器等效電路。電感￡：與電阻R2分別表示金屬板對渦流呈現(xiàn)的電感效應和在金屬板上的渦流損耗，用互感系數(shù)M表示三：與原線圈厶之間的相互作用，R．為原線圈L，的損耗電阻。

   圖5 -22渦流的產(chǎn)生    圖5-23高頻反射式渦流傳感器的等效電路