光柵位移傳感器是廣泛應(yīng)用于精密機(jī)械制造中的一種測量工具，通常也稱為光柵尺。 AD9884AKS-140光柵尺的測量精度很高，可以用來進(jìn)行納米量級的位移測量，另外與輸出模擬電信號的傳感器不同，光柵位移傳感器可以直接實現(xiàn)數(shù)字輸出。

   1．光柵的概念

   由大量等寬等間距的平行狹縫組成的光學(xué)器件稱為光柵，如圖5 -30所示。用玻璃制成的光柵稱為透射光柵，它是在透明玻璃上刻出大量等寬等間距的平行刻痕，每條刻痕處是不透光的，而兩刻痕之間是透光的。用不銹鋼制成的光柵稱為反射式光柵。光柵的刻痕密度一般為每毫米10，25，50，100，250線�？毯壑g的距離稱為柵距形。設(shè)刻痕寬度為n，狹縫寬度為6，則形=a+b，一般情況下取a=b。

   2．光柵的工作原理

   把兩塊柵距相同的光柵刻線面平行安裝，且讓它們的刻痕之間有較小的夾角p。在刻線的重合處，光從縫隙透過形成亮帶，如圖5 - 31的a-o’線所示；在兩光柵刻線的錯開處，由于相互捎光作用而形成暗帶，如圖5 - 31的b-b’線所示。這種亮帶和暗帶形成的明暗相間的條紋稱為莫爾條紋，莫爾條紋方向與刻線方向近似垂直，故又稱橫向莫爾條紋。相鄰兩莫爾條紋的間距為BH，其表達(dá)式為