幾種抗干擾和提高測量精度干涉光路的設計。在干涉儀的光路設計時，應系統(tǒng)AD517LH地考慮到干涉信號的質量、穩(wěn)定性以及測量精度和對結構的要求等方面，圖7-5表示其他幾種激光干涉測長系統(tǒng)的光路布局。

   在圖7 -5(a)中，只用一個角錐棱鏡作為測量中的移動鏡。從光源發(fā)出的光束由分束鏡BSi分束后直接形成參考光束，而另一束則由測量臂調制后，由分束鏡BS2與參考光束合成干涉。在實用上BSi和BS2還可以做成一體，形成較穩(wěn)定的結構。

   圖7 -5(b)是一種雙程干涉儀結構。角錐棱鏡M2仍作為測量反射鏡，反射鏡Mi是固定的參考反射鏡，而反射鏡M3是測量臂上的固定反射鏡。由于測量光束茌移動鏡M2中往返兩次，所以對位移的靈敏度提高了一倍，產生了光學二倍頻效果。這種結構還可設計成采用立方分光棱鏡的組件布局結構，如圖(c)所示。圖(c)中把圖(b)中的Mi、M3和BS合成為一體，在分束棱鏡上鍍以反射膜形成了M2和M3。這種結構使整個系統(tǒng)對外界的抗干擾性得到提高。

   圖7 -5(d)是一種光學倍頻的布局。這種結構使測量光束在測量移動鏡內多次往返，實現(xiàn)了對位移靈敏度的提高，使之產生光學多倍頻效果。此時，當M2每移動A/2k位移就產生干涉信號一個周期的變化（五為光束在移動鏡中的往返次數(shù)），其靈敏度提高了后倍。