應(yīng)用衍射原理的測量方法很多，如小孔細(xì)絲的測量、邊緣瞄準(zhǔn)都采用了衍射原理。最EP1C20F400I7常用的例子是計量光柵，其測量誤差可表示為測長光柵：±(0.2+2×10-6/) pm，式中￡為被測長度。

   測角光柵可達(dá)l”或更高的精度。光柵應(yīng)用的條件是要求清潔的環(huán)境，因此多適用于實驗室。但密封方法的改善，以及電子線路的改進(jìn)使光柵已經(jīng)廣泛用于金屬切削機(jī)床。

   圖2 -2是UMM500三坐標(biāo)測量機(jī)的光柵系統(tǒng)的光路圖。光導(dǎo)纖維1用來傳光（照明燈是放在控制柜內(nèi)），用透鏡2和3使照明光準(zhǔn)直，用平行光垂直照明光柵副的光柵41-光導(dǎo)纖維；2、3-透鏡；4、5-光柵副；6、8-聚光鏡：7-轉(zhuǎn)向棱鏡；9-光電三極管。和5，這兩個光柵都是黑白光柵，柵距d=0.016mm，光柵間隙取0.25 mm左右，形成干涉莫爾條紋。改變光柵間隙可以改變條紋寬度。四個光電三極管9接收四相相位依次差900的信號，光電管的輸出送到控制柜中進(jìn)行放大、波形變換、細(xì)分、辨向和計數(shù)顯示。電子細(xì)分采用幅度分割式32倍電子細(xì)分，分辨率為0.5¨m。

   圖2 -3(a)為Leitz 2”數(shù)字分度頭光學(xué)系統(tǒng)圖，Leitz 2”光學(xué)分度頭精度為2”，分辨率是1”，測量結(jié)果數(shù)字顯示。儀器工作是逐(”)疊加，沒有(’)和(”)的顯示，測量結(jié)果可以用打印機(jī)打印。主軸前端和后端均采用密珠球球軸承，這種軸承能承受較大的軸向和徑

向載荷，并能保持較高的旋轉(zhuǎn)置中精度，但工藝性較差。