這是目前計(jì)量領(lǐng)域中應(yīng)用最廣、 EP1C4F324C6N精度最高的方法。在測長距離的情況下可以在50m以內(nèi)突現(xiàn)誤差公式：±(0.1+10 -6/) pm;在測量微小位移時(shí)可以得到優(yōu)于0.Inm的分辨率。在測角中的應(yīng)用可以得到0.1”或更高的精度。干涉原理廣泛應(yīng)用于粗糙度測量、平

面度測量以及變形測量等。

   激光小角度測量法是干涉原理典型的應(yīng)用。

   激光小角度測量儀就是將R固定，用激光干涉測長的辦法測出日，即可得出a值。圖2-6是激光小角度的測量原理圖。激光器l發(fā)出的激光光束經(jīng)分光器3分成兩路：一路沿光路口射向角錐鏡2；一路沿光路6射向參考鏡4。當(dāng)棱鏡在位置，時(shí)，沿光路口前進(jìn)的

光束經(jīng)角錐棱鏡旋轉(zhuǎn)1800后，沿光路c射向平面反射鏡5，然后被反射鏡反射，從原路返回到分光器，并與從6路返回的參考光束會(huì)合而產(chǎn)生干涉。當(dāng)棱鏡移到位置Ⅱ后，沿光路口前進(jìn)的光束由于棱鏡Ⅱ及平面反射鏡5的作用，使它們?nèi)园丛贩祷兀划a(chǎn)生光點(diǎn)移動(dòng)，從而干涉圖形相對接收元件的位置保持不變。