對于平直度測量也是符合布萊恩原則
發(fā)布時(shí)間:2015/5/23 20:56:23 訪問次數(shù):1555
圖2 - 31所示為y-z兩坐標(biāo)測量機(jī)結(jié)構(gòu)囹。對于z軸,激光干涉儀軸線的延長線通過測端17的中心。對于y軸,雖然),F85226AF方向激光干涉儀軸線的延長線并不通過測端的中心,但y方向上有上下兩個(gè)激光干涉儀7和9,這兩個(gè)干涉儀的讀數(shù)差用來作為伺服輸入信號(hào),去驅(qū)動(dòng)支撐在y向工作臺(tái)一端的壓電晶體16,校正了滑塊14在移動(dòng)過程中可能產(chǎn)生的傾斜,即消除了y向工作臺(tái)的角運(yùn)動(dòng)。因此從整體看,兩個(gè)方向都符合布萊恩建議(阿貝原則),區(qū)別是石方向布置在一條直線上,y方向采取消除工作臺(tái)角運(yùn)動(dòng)的影響的方法。
對于平直度測量也是符合布萊恩原則的,平直度測量簡圖如圖2 -32所示,用測端測工件的直線性ff,為了消除z方向滑塊在移動(dòng)過程中由于導(dǎo)軌的非直線性所引起傾斜而帶來的誤差,設(shè)置了由標(biāo)準(zhǔn)直尺和測微表組成的平直度測量系統(tǒng)。在這里布萊恩原則主
要有兩點(diǎn)。第一,滑塊沒有角運(yùn)動(dòng),若滑塊只作左右平移,則因平移而引起的測微表的位移量和測端的位移量是相同的,因此根據(jù)測微表的位移量來修正測量結(jié)果后,就消除了因滑塊左右平移造成的測量誤差。第二,如滑塊在移動(dòng)過程中有角運(yùn)動(dòng),那么設(shè)計(jì)應(yīng)滿足“平直度測量系統(tǒng)的工作點(diǎn),應(yīng)當(dāng)位于垂直于滑板移動(dòng)方向的、并通過被測的平直度的作用點(diǎn)的方向線上”的要求。在囹2 -32(a)中,就應(yīng)使該測微表和測球中心的連線垂直于滑塊的運(yùn)動(dòng)方向,因?yàn)橹挥羞@樣布置時(shí),當(dāng)滑塊有不大的轉(zhuǎn)角時(shí),測端的位移量與測微表的位移量才相等。這點(diǎn)可很容易地從圖2 -32(b)中得到證明,當(dāng)滑塊繞D點(diǎn)有一不大的轉(zhuǎn)角時(shí),只有A點(diǎn)的位移量與Ao點(diǎn)的位移量近似相等,而A.和A2點(diǎn)的位移均不等于Ao點(diǎn)的位移。因此在滑塊有轉(zhuǎn)角時(shí),用測微表的位移量來修正測量結(jié)果后,滑塊的角運(yùn)動(dòng)也不會(huì)引起測量誤差。
上述介紹的幾種補(bǔ)償阿貝誤差的方法,可以說對儀器設(shè)計(jì)都不同程度地帶來一定的難度和總體的復(fù)雜性。因此,有條件、有可能的話,盡量從結(jié)構(gòu)布置上或從工藝上來減少阿貝誤差(實(shí)質(zhì)是減少標(biāo)準(zhǔn)量的讀數(shù)線和被測量的測量線之間的距離,以及提高導(dǎo)軌的運(yùn)動(dòng)精度),這樣可減少儀器設(shè)計(jì)的復(fù)雜性,同時(shí)也給調(diào)整帶來很大的方便。
圖2 - 31所示為y-z兩坐標(biāo)測量機(jī)結(jié)構(gòu)囹。對于z軸,激光干涉儀軸線的延長線通過測端17的中心。對于y軸,雖然),F85226AF方向激光干涉儀軸線的延長線并不通過測端的中心,但y方向上有上下兩個(gè)激光干涉儀7和9,這兩個(gè)干涉儀的讀數(shù)差用來作為伺服輸入信號(hào),去驅(qū)動(dòng)支撐在y向工作臺(tái)一端的壓電晶體16,校正了滑塊14在移動(dòng)過程中可能產(chǎn)生的傾斜,即消除了y向工作臺(tái)的角運(yùn)動(dòng)。因此從整體看,兩個(gè)方向都符合布萊恩建議(阿貝原則),區(qū)別是石方向布置在一條直線上,y方向采取消除工作臺(tái)角運(yùn)動(dòng)的影響的方法。
對于平直度測量也是符合布萊恩原則的,平直度測量簡圖如圖2 -32所示,用測端測工件的直線性ff,為了消除z方向滑塊在移動(dòng)過程中由于導(dǎo)軌的非直線性所引起傾斜而帶來的誤差,設(shè)置了由標(biāo)準(zhǔn)直尺和測微表組成的平直度測量系統(tǒng)。在這里布萊恩原則主
要有兩點(diǎn)。第一,滑塊沒有角運(yùn)動(dòng),若滑塊只作左右平移,則因平移而引起的測微表的位移量和測端的位移量是相同的,因此根據(jù)測微表的位移量來修正測量結(jié)果后,就消除了因滑塊左右平移造成的測量誤差。第二,如滑塊在移動(dòng)過程中有角運(yùn)動(dòng),那么設(shè)計(jì)應(yīng)滿足“平直度測量系統(tǒng)的工作點(diǎn),應(yīng)當(dāng)位于垂直于滑板移動(dòng)方向的、并通過被測的平直度的作用點(diǎn)的方向線上”的要求。在囹2 -32(a)中,就應(yīng)使該測微表和測球中心的連線垂直于滑塊的運(yùn)動(dòng)方向,因?yàn)橹挥羞@樣布置時(shí),當(dāng)滑塊有不大的轉(zhuǎn)角時(shí),測端的位移量與測微表的位移量才相等。這點(diǎn)可很容易地從圖2 -32(b)中得到證明,當(dāng)滑塊繞D點(diǎn)有一不大的轉(zhuǎn)角時(shí),只有A點(diǎn)的位移量與Ao點(diǎn)的位移量近似相等,而A.和A2點(diǎn)的位移均不等于Ao點(diǎn)的位移。因此在滑塊有轉(zhuǎn)角時(shí),用測微表的位移量來修正測量結(jié)果后,滑塊的角運(yùn)動(dòng)也不會(huì)引起測量誤差。
上述介紹的幾種補(bǔ)償阿貝誤差的方法,可以說對儀器設(shè)計(jì)都不同程度地帶來一定的難度和總體的復(fù)雜性。因此,有條件、有可能的話,盡量從結(jié)構(gòu)布置上或從工藝上來減少阿貝誤差(實(shí)質(zhì)是減少標(biāo)準(zhǔn)量的讀數(shù)線和被測量的測量線之間的距離,以及提高導(dǎo)軌的運(yùn)動(dòng)精度),這樣可減少儀器設(shè)計(jì)的復(fù)雜性,同時(shí)也給調(diào)整帶來很大的方便。
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