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干涉顯微鏡工作臺

發(fā)布時(shí)間:2015/5/31 19:54:08 訪問次數(shù):585

   技術(shù)要求:AT65-0106①臺面加負(fù)荷98N(中間),平行度變化不大0.01/280;②縱橫微動(dòng)量為±2.5,導(dǎo)軌與鋼球間隙不大于0. 005;③兩固定短導(dǎo)軌V型母線平行度誤差不大于0.005/280。

   圖4 - 41是6JA型干涉顯微鏡工作臺。此種工作臺除了在水平面內(nèi)能縱向、橫向位移以及轉(zhuǎn)動(dòng)外,還能在垂直方向?qū)崿F(xiàn)微量調(diào)整,以達(dá)到調(diào)焦的目的。

        

   載物臺14可在手的推力作用下,沿滑槽和滑板實(shí)現(xiàn)縱向、橫向兩個(gè)方向移動(dòng)。轉(zhuǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)向手輪13,載物臺可在3600范圍內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)。轉(zhuǎn)動(dòng)微動(dòng)手輪8,可帶動(dòng)與其固結(jié)的微動(dòng)外螺紋5-起轉(zhuǎn)動(dòng),并將轉(zhuǎn)動(dòng)傳遞給微動(dòng)內(nèi)螺紋6,由于受鍵片3的防轉(zhuǎn)限制,使得微動(dòng)內(nèi)螺 紋6只能上、下微量運(yùn)動(dòng),實(shí)現(xiàn)工作臺在垂直方向微調(diào),微調(diào)量由限位套10限位。如果被測件是圓形工件,可用V形定位附件1取代小蓋板2。

   可動(dòng)工作臺中最典型的是萬能工作臺,其結(jié)構(gòu)如圖4 -42所示,萬能測長儀、臥式光較儀均采用這種工作臺。為了在測量時(shí)使被測件處于理想位置,工作臺有五個(gè)自由度運(yùn)動(dòng)。

   ①轉(zhuǎn)動(dòng)工作臺升降手輪,借助于齒條9使工作臺隨軸10作垂直升降運(yùn)動(dòng),升降范圍0~ 105mm,升降數(shù)值可由手輪上的刻度盤讀出,并由鎖緊裝置使軸10固定在任意位量上。

   ②轉(zhuǎn)動(dòng)千分讀數(shù)筒4,可使滑座3沿雙V形橫向滾珠導(dǎo)軌7作O。25mm范圍的橫向位移,位移量可從千分讀數(shù)筒上讀出,其分度值為0. Olmm。技術(shù)要求:①變換10位置達(dá)到工作臺微動(dòng)至上下極限位置,定位明確,保證微動(dòng)范圍不小于6;②同時(shí)修正11 兩Ra=0.8ym面達(dá)到9與5軸向間隙小于0.03;③件5與件6微動(dòng)螺紋配合,旋轉(zhuǎn)應(yīng)舒適穩(wěn)定;④件5與件8配合 螺紋清洗后,涂以環(huán)氧樹脂拼緊;⑤當(dāng)調(diào)至視場內(nèi)看清干涉條紋后,工作臺移動(dòng)及轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí),視場內(nèi)仍應(yīng)看到干涉條紋, 且條紋寬度變化不超過1/10。



   技術(shù)要求:AT65-0106①臺面加負(fù)荷98N(中間),平行度變化不大0.01/280;②縱橫微動(dòng)量為±2.5,導(dǎo)軌與鋼球間隙不大于0. 005;③兩固定短導(dǎo)軌V型母線平行度誤差不大于0.005/280。

   圖4 - 41是6JA型干涉顯微鏡工作臺。此種工作臺除了在水平面內(nèi)能縱向、橫向位移以及轉(zhuǎn)動(dòng)外,還能在垂直方向?qū)崿F(xiàn)微量調(diào)整,以達(dá)到調(diào)焦的目的。

        

   載物臺14可在手的推力作用下,沿滑槽和滑板實(shí)現(xiàn)縱向、橫向兩個(gè)方向移動(dòng)。轉(zhuǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)向手輪13,載物臺可在3600范圍內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)。轉(zhuǎn)動(dòng)微動(dòng)手輪8,可帶動(dòng)與其固結(jié)的微動(dòng)外螺紋5-起轉(zhuǎn)動(dòng),并將轉(zhuǎn)動(dòng)傳遞給微動(dòng)內(nèi)螺紋6,由于受鍵片3的防轉(zhuǎn)限制,使得微動(dòng)內(nèi)螺 紋6只能上、下微量運(yùn)動(dòng),實(shí)現(xiàn)工作臺在垂直方向微調(diào),微調(diào)量由限位套10限位。如果被測件是圓形工件,可用V形定位附件1取代小蓋板2。

   可動(dòng)工作臺中最典型的是萬能工作臺,其結(jié)構(gòu)如圖4 -42所示,萬能測長儀、臥式光較儀均采用這種工作臺。為了在測量時(shí)使被測件處于理想位置,工作臺有五個(gè)自由度運(yùn)動(dòng)。

   ①轉(zhuǎn)動(dòng)工作臺升降手輪,借助于齒條9使工作臺隨軸10作垂直升降運(yùn)動(dòng),升降范圍0~ 105mm,升降數(shù)值可由手輪上的刻度盤讀出,并由鎖緊裝置使軸10固定在任意位量上。

   ②轉(zhuǎn)動(dòng)千分讀數(shù)筒4,可使滑座3沿雙V形橫向滾珠導(dǎo)軌7作O。25mm范圍的橫向位移,位移量可從千分讀數(shù)筒上讀出,其分度值為0. Olmm。技術(shù)要求:①變換10位置達(dá)到工作臺微動(dòng)至上下極限位置,定位明確,保證微動(dòng)范圍不小于6;②同時(shí)修正11 兩Ra=0.8ym面達(dá)到9與5軸向間隙小于0.03;③件5與件6微動(dòng)螺紋配合,旋轉(zhuǎn)應(yīng)舒適穩(wěn)定;④件5與件8配合 螺紋清洗后,涂以環(huán)氧樹脂拼緊;⑤當(dāng)調(diào)至視場內(nèi)看清干涉條紋后,工作臺移動(dòng)及轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí),視場內(nèi)仍應(yīng)看到干涉條紋, 且條紋寬度變化不超過1/10。



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5-31干涉顯微鏡工作臺

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