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多層PZT/PT薄膜的結(jié)構(gòu)

發(fā)布時間:2015/6/11 21:00:40 訪問次數(shù):796

  在本書中,CNB1001不對其具體材料作詳細的研究,而是遁過分析對比目前的一些研究成果,設(shè)計組合PZT和PT薄膜成串的多層薄膜結(jié)構(gòu),來研究其制備為熱釋電探測器應(yīng)用的性能,其組合的研究方式如圖3-8所示。在圖3-8中,描述了三種結(jié)構(gòu):單一的PZT薄膜(11PZT)、PT/PZT/—/PZT/PT( 2PT/9PZT)多層薄膜、PT/PZT~ PZT/PT  (6PT/5PZT)多層薄膜?梢酝ㄟ^SEM測試、拉曼光譜測試和XRD測試來分析三種薄膜的微結(jié)構(gòu)和性能,然后尋找具有較好的表面致密性、較好的結(jié)晶性能和較小的殘余應(yīng)力的薄膜為紅外探測器敏感元件所應(yīng)用。

    


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