一套干涉系統(tǒng)測量菇，兩個坐標的方案，減少了一ICL8001G 套干涉系統(tǒng)，即將五角棱鏡固定在中滑板上實現(xiàn)戈方向的測量，而立體直角錐棱鏡固定在上滑板上實現(xiàn)），方向測量。但該系統(tǒng)的缺點是戈、y運動有交叉影響，測量光軸與工作物軸線不完全重合，存在一定的阿貝誤差，直接影響整機的精度。因整機精度要求l l.t,m—0.5¨m的范圍，該系統(tǒng)能滿足要求。

   該干涉系統(tǒng)另一簡化是取消了常規(guī)干涉系統(tǒng)中必備的準直系統(tǒng)，直接采用激光器發(fā)出的光束，因此也省去了接收元件前的聚光系統(tǒng)歿一系列的光闌，同時由于光束直徑很細，使整套光學元件尺寸大大縮小，使整機的體積相應縮小。

   從整體結構布局考慮采取的是齊端式，由于結構限制不遵守共路原則，為減少外界環(huán)境對干涉系統(tǒng)精度的影響，一是用機罩將整個干涉系統(tǒng)罩在一起。為防止激光器的影響，將激光器與干涉儀隔開，采用單獨的機罩，故使干涉儀的全部元件處于相同的外界環(huán)境。二是兩光路條件盡量做到光程相同，故在參考光路中加梯形棱鏡，做到兩光路中經過光學元件的光程相等，同時也縮小了結構尺寸。

   在元件的選擇上主要是調整、安裝方便，采用了配對的立體直角錐棱鏡、五角棱鏡及直角棱鏡等。這些光學元件雖加工精度要求高，但給裝配調整帶來了方便，適于工業(yè)生產需要。