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晶體生長(zhǎng)從籽晶開始

發(fā)布時(shí)間:2015/10/24 19:10:35 訪問次數(shù):1528

   融物的薄膜附著到籽晶上然后冷卻。在冷卻MC9S12DG256BMPV過程中,在熔化的半導(dǎo)體材料的原子定向到籽晶一樣的晶體結(jié)構(gòu),、實(shí)際結(jié)果是籽晶的定向在生長(zhǎng)的晶體中傳播。在熔融物中的摻雜原子進(jìn)人生長(zhǎng)的晶體中,生成N型或P型晶體。

   圖3. 10晶體生長(zhǎng)從籽晶開始

    

   為了實(shí)現(xiàn)均勻摻雜、完美晶體和直徑控制,籽晶和坩堝(伴隨著拉速)在整個(gè)晶體生長(zhǎng)過程中以相反的方向旋轉(zhuǎn)。工藝控制需要一套復(fù)雜的反饋系統(tǒng),綜合轉(zhuǎn)速、拉速及熔融物溫度參數(shù)。

   拉晶分為3個(gè)段,開始放肩形成一薄層頭部,接著是等徑生長(zhǎng),最后是收尾。直拉法能夠生成幾英尺長(zhǎng)和直徑達(dá)到450 mm(18英寸)的晶體。450 mm晶圓的晶體質(zhì)量將會(huì)達(dá)到800 kg,需要花費(fèi)3天時(shí)間來生長(zhǎng)。

   質(zhì)量更大的晶體可能導(dǎo)致碎裂成小直徑的籽晶(約4 mm)|4、,一個(gè)解決方案是用被稱為縮頸( dash necking)的工藝開始生長(zhǎng)。在開始生長(zhǎng)階段,生長(zhǎng)加粗部分。它為更大的晶體提供了機(jī)械強(qiáng)度支撐(見圖3. 11)。

   融物的薄膜附著到籽晶上然后冷卻。在冷卻MC9S12DG256BMPV過程中,在熔化的半導(dǎo)體材料的原子定向到籽晶一樣的晶體結(jié)構(gòu),、實(shí)際結(jié)果是籽晶的定向在生長(zhǎng)的晶體中傳播。在熔融物中的摻雜原子進(jìn)人生長(zhǎng)的晶體中,生成N型或P型晶體。

   圖3. 10晶體生長(zhǎng)從籽晶開始

    

   為了實(shí)現(xiàn)均勻摻雜、完美晶體和直徑控制,籽晶和坩堝(伴隨著拉速)在整個(gè)晶體生長(zhǎng)過程中以相反的方向旋轉(zhuǎn)。工藝控制需要一套復(fù)雜的反饋系統(tǒng),綜合轉(zhuǎn)速、拉速及熔融物溫度參數(shù)。

   拉晶分為3個(gè)段,開始放肩形成一薄層頭部,接著是等徑生長(zhǎng),最后是收尾。直拉法能夠生成幾英尺長(zhǎng)和直徑達(dá)到450 mm(18英寸)的晶體。450 mm晶圓的晶體質(zhì)量將會(huì)達(dá)到800 kg,需要花費(fèi)3天時(shí)間來生長(zhǎng)。

   質(zhì)量更大的晶體可能導(dǎo)致碎裂成小直徑的籽晶(約4 mm)|4、,一個(gè)解決方案是用被稱為縮頸( dash necking)的工藝開始生長(zhǎng)。在開始生長(zhǎng)階段,生長(zhǎng)加粗部分。它為更大的晶體提供了機(jī)械強(qiáng)度支撐(見圖3. 11)。

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