我們已經(jīng)提到過(guò)，EL1528CLZ-T13晶圓表面必須要干燥以增加它的黏附性。一個(gè)干燥的表面稱(chēng)做厭水性( hydrophobic)表面，它是一種化學(xué)條件。在厭水性表面上液體會(huì)形成小滴，例如水在剛剛打完蠟的汽車(chē)表面會(huì)形成很多小水珠？厭水性表面有益于光刻膠的黏結(jié)（見(jiàn)圖8. 24）。晶圓在進(jìn)行光刻蝕加工之前表面通常是厭水性的。．

   遺憾的是，當(dāng)晶圓暴露于空氣中的濕氣或是清結(jié)束后的濕氣時(shí)，表面會(huì)變成親水性( hydrophilic在這種條件下液體會(huì)在晶圓表面形成較大的一灘水，就像是水在沒(méi)有打蠟的汽車(chē)表面一樣。親表面同時(shí)也稱(chēng)為含水的表面。在含水的表面光刻膠不能很好地黏結(jié)（見(jiàn)圖8. 24）。   

    有兩個(gè)重要的方法可以保持厭水性表面，一種方法是把室內(nèi)濕度保持在50%以下，并且在晶圓完成前一步工藝之后盡可能快地對(duì)晶圓進(jìn)行涂膠。，另一種方法是把晶圓存儲(chǔ)在用干燥并且干凈的氮?dú)鈨艋^(guò)的干燥器中，或者存儲(chǔ)在于燥的小環(huán)境中，例如前面開(kāi)口標(biāo)準(zhǔn)匣( FOUP)（見(jiàn)第4章）。為了使晶圓表面達(dá)到可以接受的黏附性，需要加入一些附加的步驟。這些步驟包括：脫水烘焙和晶圓涂底膠。