德國(guó)的Luft于1948年最早提出了氣體濾波相關(guān)檢測(cè)的原理，Derek Stuart對(duì)其進(jìn)行了非常詳細(xì)的論述，并進(jìn)行了多種比較實(shí)驗(yàn)以證實(shí)其優(yōu)越性。 EC11FS4-TE12L一套經(jīng)典的檢測(cè)裝置如圖12.10所示，整個(gè)光學(xué)系統(tǒng)主要由紅外光源、寬帶濾光片、待測(cè)氣體樣品池、參考?xì)怏w腔( GFC)、衰減氣體腔(ATT)和紅外探測(cè)器組成。

   圖12.10氣體相關(guān)檢測(cè)的原理示意圖

   一個(gè)理想的用于氣體檢測(cè)的波長(zhǎng)選擇濾光器應(yīng)該只對(duì)目標(biāo)氣體的吸收譜線有響應(yīng)，而一個(gè)充有曰標(biāo)氣體樣品的參考?xì)怏w腔GFC完全符合這個(gè)要求。調(diào)制盤上的衰減氣體腔ATT里面則充有一定濃度的N2，其作用相當(dāng)于一個(gè)光窗。從機(jī)械機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)角度，加入ATT腔的一個(gè)好處是，與GFC腔相匹配，以保持調(diào)制盤的動(dòng)平衡。