平整的金屬薄膜可以用作反射鏡,金(Au)、銀(Ag)、鋁(川)、鎳(№)是幾種常用的材料,部分材料的光譜反射率曲線表示在圖⒍26上。 AC1501-12P5AL鋁是從紫外到紅外都有很高反射率的唯一材料,銀膜在可見區(qū)和紅外區(qū)都有很高的反射率,而且在傾斜使用時引入的偏振 效應(yīng)也最小;金的抗氧化性較好,在紅外區(qū)的反射率很高,它的強度和穩(wěn)定性比銀膜好。金屬反光鏡的反射率可達到90%以上,但是實際制作中

經(jīng)退火工藝后,反射率就會降低。

   Ⅺm,Sun-K,/Llng等人卩叨報道了基于金屬反射鏡的AlC1aInP光子晶體LED,光子被以高反射率、低吸收的與光子晶體穩(wěn)固接觸的襯底Ag反射鏡發(fā)射,增強了LED的光提取。

   Ya-Ju Lce等人u㈣報道了藍寶石襯底A⒗aInPLED采用如圖6ˉ27所示的4種帶有Ag反射鏡結(jié)構(gòu)的器件,其中圖(a)平面Ag反射鏡(LED-A),圖(c)平面Ag反射鏡和表面粗化結(jié)構(gòu)(LED-C)和圖(d)圖形化的Ag反射鏡Ag和表面粗化結(jié)構(gòu)(LED-D)。圖形化的Ag反射鏡用來直接提取在A⒗aInP LED和藍寶石襯底之間來回反射的光,讓這些光從表面射出,而且自由分布在表面的粗化結(jié)構(gòu)進一步增強了芯片內(nèi)部光被波導(dǎo)出芯片有效地進入空氣。結(jié)果LED-A,LED-B,LED¨C和LED-D這4種LED的外量子效率在F350111A時分別為PF9。⒛%,9F10.46%,rF15。⒛%和rF16,75%。通過圖⒍27所示的這4種結(jié)構(gòu)器件的光學(xué)模型和光子發(fā)射到表面的路線圖,解釋了LEDˉD比LED-A外量子效率提高了1,82倍的原因。