輪反光鏡式光柵讀數(shù)頭的光路系統(tǒng)圖。它的工作原理與轉(zhuǎn)輪光柵調(diào)制型系統(tǒng)相類似。 ICR18650-22P主光柵2采用反射式光柵而基準(zhǔn)光柵4為透射式光柵，它們都構(gòu)成鏡像式光路系統(tǒng)。多邊形反射鏡12以一定的速度轉(zhuǎn)動，則光柵莫爾條紋在光電接收器上不斷波動，因此光電接收器1、3分別輸出主光柵的調(diào)相信號和基準(zhǔn)光柵的參考信號。

   目前調(diào)相式光柵讀數(shù)頭的類型較多，它們都是應(yīng)用比相原理設(shè)計(jì)的，不同之處僅在調(diào)制元件上。調(diào)相式光柵讀數(shù)頭的結(jié)構(gòu)較復(fù)雜，但它可得到很大的細(xì)分?jǐn)?shù)。例如基準(zhǔn)信號與相位調(diào)制信號采用分辨率為0. 10的數(shù)字式相位計(jì)測量時，柵距的細(xì)分?jǐn)?shù)可達(dá)3600。

   激光光斑中心檢測在激光掃描三角法、激光準(zhǔn)直儀、激光光斑分析儀等光學(xué)測量、檢測手段中是一項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)，檢測算法的精度、速度直接影響了光學(xué)測量的精度及速度。下面介紹常用的PSD定位和CCD光斑中心定位。