微機電系統(tǒng)要求有微型測量裝置
發(fā)布時間:2017/4/6 21:26:24 訪問次數(shù):340
微電子技術(shù)的問世,P2020PSE2MZB不僅使計算機技術(shù)突飛猛進,也使光電檢測技術(shù)有了更為廣闊的應(yīng)用空間。當(dāng)前人們在生物、醫(yī)學(xué)、航天、靈巧武器、數(shù)字通信等許多領(lǐng)域越來越多地要求微系統(tǒng),因此微機電系統(tǒng)成為當(dāng)前研究的一個熱點。而微機電系統(tǒng)要求有微型測量裝置,這樣,微型光、機、電檢測系統(tǒng)也就毫無疑問地成為重要研究方向。
科學(xué)技術(shù)的進步推動了光電檢測技術(shù)的發(fā)展,而新型光電檢測系統(tǒng)的出現(xiàn)無疑又給科學(xué)技術(shù)的發(fā)展注人了新鮮血液。因此,光電檢測技術(shù)的發(fā)展趨勢是:
(1)發(fā)展納米、亞納米高精度的光電檢測新技術(shù)。
(2)發(fā)展小型的、快速的微型光、機、電檢測系統(tǒng)。
(3)非接觸、快速在線測量,以滿足快速增長的經(jīng)濟發(fā)展建設(shè)的需要。
(4)向微空間三維測量技術(shù)和大空間三維測量技術(shù)發(fā)展。
(5)發(fā)展閉環(huán)控制的光電檢測系統(tǒng),實現(xiàn)光電測量與光電控制一體化。
(6)向人們無法觸及的領(lǐng)域發(fā)展。
(7)發(fā)展光電跟蹤與光電掃描技術(shù),如遠距離的遙控、遙測、激光制導(dǎo)、飛行物自動跟蹤、復(fù)雜形體自動掃描測量等。
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(2)發(fā)展小型的、快速的微型光、機、電檢測系統(tǒng)。
(3)非接觸、快速在線測量,以滿足快速增長的經(jīng)濟發(fā)展建設(shè)的需要。
(4)向微空間三維測量技術(shù)和大空間三維測量技術(shù)發(fā)展。
(5)發(fā)展閉環(huán)控制的光電檢測系統(tǒng),實現(xiàn)光電測量與光電控制一體化。
(6)向人們無法觸及的領(lǐng)域發(fā)展。
(7)發(fā)展光電跟蹤與光電掃描技術(shù),如遠距離的遙控、遙測、激光制導(dǎo)、飛行物自動跟蹤、復(fù)雜形體自動掃描測量等。
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