微電子工業(yè)是飛速發(fā)展的高技術產業(yè),其產品在各個領域得到廣泛應用。近年來N79E342信息技術、計算機行業(yè)及家電產業(yè)之所以能取得如此巨大的成就,主要是得益于微電子工業(yè)的發(fā)展,特別是集成電路的發(fā)展。集成電路的發(fā)展水平已成為一個國家工業(yè)發(fā)展水平的標志。

   微電子產品主要是半導體分立器件和集成電路,集成電路是最主要的微電子產品,它們占整個微電子產品的90%以上。本書著重介紹集成電路制造技術的原理與工藝。在緒論中,僅就集成電路工藝的概念、發(fā)展歷程、特點、主要用途,以及本書的內容結構加以介紹。

   何謂集成電路工藝

   所謂“工藝”,是指將原材料或半成品加工成產品的工作、方法和技術等。硅基微電子產品的生產過程示意圖如圖cl1所示。單晶硅錠被切割加工成硅片后,微電子芯片廠商從硅片開始,經過20~30個工藝步驟,在硅片上制造出各種集成電路或分立器件結構,然后對其進行測試、劃片、封裝,最后將成品測試(簡稱:成測)合格的微電子產品提供給用戶。而當前,多數(shù)集成電路芯片生產企業(yè)只完成從硅片到在其上制造出集成電路結構的芯片加工部分,后期I作由專門的芯片測試和芯片封裝廠商完成。