按用途劃分
發(fā)布時(shí)間:2017/5/8 20:43:08 訪問(wèn)次數(shù):897
硅片作為微電子產(chǎn)品的襯底,按照其用途來(lái)劃分規(guī)格也是常用方
法,如有二極管級(jí)硅片、 M24C01-WMN6T集成電路級(jí)硅片、太陽(yáng)電池級(jí)硅片等。
在表22中給出了二極管級(jí)硅片的主要技術(shù)參數(shù)。圖2n所示是
二極管級(jí)硅片照片。
本章主要介紹了硅片的制備方法。首先介紹了電子級(jí)多晶硅制備過(guò)程;然后重點(diǎn)介紹了單晶硅生長(zhǎng)方法(CZ法、MCZ法、FZ法)的原理及摻雜方式,并比較了不同制備方法生長(zhǎng)的硅錠的特點(diǎn);最后介紹了硅錠切片的工藝過(guò)程,以及硅片規(guī)格與用途。
硅片作為微電子產(chǎn)品的襯底,按照其用途來(lái)劃分規(guī)格也是常用方
法,如有二極管級(jí)硅片、 M24C01-WMN6T集成電路級(jí)硅片、太陽(yáng)電池級(jí)硅片等。
在表22中給出了二極管級(jí)硅片的主要技術(shù)參數(shù)。圖2n所示是
二極管級(jí)硅片照片。
本章主要介紹了硅片的制備方法。首先介紹了電子級(jí)多晶硅制備過(guò)程;然后重點(diǎn)介紹了單晶硅生長(zhǎng)方法(CZ法、MCZ法、FZ法)的原理及摻雜方式,并比較了不同制備方法生長(zhǎng)的硅錠的特點(diǎn);最后介紹了硅錠切片的工藝過(guò)程,以及硅片規(guī)格與用途。
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