超摩爾定律”(More than Moore, 圖2。lMtM)�！俺柖伞钡淖龇ㄍǔ尫菙�(shù)字功能(例如射頻通信、電源控制、被動組件、傳感器、驅(qū)動器)PT4110從系統(tǒng)板級轉(zhuǎn)變到特定的系統(tǒng)級封裝(SiP)或系統(tǒng)級芯片(SoC)的潛在解決方案,并最后進(jìn)人疊層芯片系統(tǒng)芯片(StackedChip SoC,SCS)。這里,也需要一些創(chuàng)新的集成電路工藝技術(shù),如硅通孔技術(shù)(Thr。ughSdicon`廠ias,TSV)。

   當(dāng)集成電路在45nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)或?qū)砀〕叽鐣r,硅CMOS器件的微縮(scaling)將產(chǎn)生巨大的技術(shù)挑戰(zhàn)及其相對應(yīng)的解決方案。本章將重點(diǎn)結(jié)合微縮下的技術(shù)挑戰(zhàn),探討集成電路制造工藝發(fā)展趨勢。本書的第3~11章將對具體工藝進(jìn)行詳細(xì)討論。