在互連金屬AlsCu/TiN/結(jié)構(gòu)上,第一層的沉積,通常采用磁控DC濺射,使用的氣體是氬,沉積厚度在200~500A之間,接下來第二層作為阻擋層之間的N,其制作方法是將一定厚度的,先以磁控DC濺射,沉積在襯底的表面,然后再將襯底置于含N2或NH3的環(huán)境中,借高溫將這層⒎氮化成TiN。

另一種沉積TN方法是反應(yīng)濺射,金屬靶成分,利用氮?dú)馀c氬氣所混合的反應(yīng)氣體,經(jīng)離子轟擊而濺射出的,與等離子內(nèi)因解離反應(yīng)形成的氮原子一起,成TiN并沉積在襯底的表面。

三相異步電動機(jī)維護(hù)，常見故障及修理，電動機(jī)起動前的準(zhǔn)各及檢查，新的或長期不用電動機(jī)的檢查。

通常TN厚度為500~1500A之間。

N除了可以作為阻擋層用以外,在鎢塞工藝中,還可以用來作為鎢回蝕時的刻蝕的中止層。另外,為了防止金屬表面的反光對光刻膠曝光的影響,還可以用來作為鋁層的防反射層。

電動機(jī)的定子繞組是二相異步電動機(jī)的電路部分,由二相對稱繞組組成,二個繞組按一定的空間角度依次嵌放在定子槽內(nèi)。二相繞組的首端分別用U1(D1)、V1(D2)、Wl(D3)表示。

檢查銘牌檢查銘牌所示電壓、頻率、接法與電源電壓等是否相符,接法是否正確。

絕緣電阻每1kV工作電壓不得小于1MQ,通常對500Ⅴ以下電動機(jī)用500V兆歐表測量,對500~3000v電動機(jī)用1000Ⅴ兆歐表測量,對3000Ⅴ以上電動機(jī)用2500V兆歐表測量。一般,三相380Ⅴ電動機(jī)的絕緣電阻大于0.5MΩ方可使用。

傳統(tǒng)的阻擋層金屬對銅的阻擋作用不夠好,銅需要由一層薄膜阻擋層完全封裝起來, EL5372IU這層封裝薄膜的作用是加固附著并有效地阻止擴(kuò)散。

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