在顯示高分辨率影像和關(guān)鍵尺寸控制方面己經(jīng)取得了進(jìn)展。隨著圖形幾何尺寸的縮小,散粒噪聲開始制造麻煩。

光刻膠在顯影以后的坍塌會(huì)將其高寬比限制在2.5~3之間,因此,每一代工藝進(jìn)步后的光刻膠絕對(duì)厚度都減薄了。使用浸沒式光刻技術(shù),光刻膠材料的顯影過程必須保證將光刻膠引發(fā)的缺陷率降到最低,這進(jìn)一步限制了材料的選擇。

對(duì)EUVL,光刻膠的氣體釋放會(huì)對(duì)精密的反射性光學(xué)表面形成污染。

當(dāng)金屬功函數(shù)大于P型硅功函數(shù)而小于N型硅功函數(shù)時(shí),金屬―半導(dǎo)體接觸即可形成理想的歐姆接觸。

但是,由于金屬一半導(dǎo)體界面的表面態(tài)的影響,使得半導(dǎo)體表面感應(yīng)空間電荷區(qū)層形成接觸勢壘,因此在半導(dǎo)體表面摻雜濃度較低時(shí),很難形成較理想的歐姆接觸。

高復(fù)合中心歐姆接觸。當(dāng)半導(dǎo)體表面具有較高的復(fù)合中心密度時(shí),金屬一半導(dǎo)體間的電流傳輸主要受復(fù)合中心控制。

工作及檢查后方可起動(dòng)電動(dòng)機(jī),電動(dòng)機(jī)起動(dòng)時(shí)應(yīng)先點(diǎn)動(dòng),預(yù)檢電動(dòng)機(jī)有無異�，F(xiàn)象及轉(zhuǎn)向是否正確。

檢查轉(zhuǎn)軸扳動(dòng)電動(dòng)機(jī)的轉(zhuǎn)軸是否自由旋轉(zhuǎn),不可有松或緊現(xiàn)象。對(duì)于滑動(dòng)軸承,轉(zhuǎn)子的軸向游動(dòng)量每邊為2-3mm。

檢查運(yùn)轉(zhuǎn)方向?qū)Σ豢赡孓D(zhuǎn)電動(dòng)機(jī)(如砂輪機(jī)),需檢查運(yùn)轉(zhuǎn)方向是否與該電動(dòng)機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)指示箭頭方向相同。

檢查軸承檢查電動(dòng)機(jī)軸承是否有油,滑動(dòng)軸承是否達(dá)到規(guī)定油位。

檢查電動(dòng)機(jī)內(nèi)部檢查電動(dòng)機(jī)內(nèi)部有無雜物或積塵。

其他檢查繞線式電動(dòng)機(jī)還應(yīng)檢查滑環(huán)上的電刷表面是否全部貼緊滑環(huán),導(dǎo)線有否相碰,電刷提升是否靈活,電刷的壓力是否正常。

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