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從硅起步看半導體的起源

發(fā)布時間:2007/9/7 0:00:00 訪問次數(shù):1051


  從有人類以來,已經(jīng)過了上百萬年的歲月。社會的進步可以用當時人類使用的器物來代表,從遠古的石器時代、到銅器,再進步到鐵器時代,F(xiàn)今,以硅為原料的電子組件產(chǎn)值,則超過了以鋼為原料的產(chǎn)值,人類的歷史因而正式進入了一個新的時代,也就是硅的時代。硅所代表的正是半導體組件,包括存儲元件、微處理機、邏輯組件、光電組件與偵測器等等在內(nèi),舉凡電視、電話、計算機、電冰箱、汽車,這些半導體組件無時無刻都在為我們服務。
  硅是地殼中最常見的元素,許多石頭的主要成分都是二氧化硅,然而,經(jīng)過數(shù)百道制程做出的集成電路,其價值可達上萬美金;把石頭變成硅芯片的過程是一項點石成金的成就,也是近代科學的奇跡!

  在日本,有人把半導體比喻為工業(yè)社會的稻米,是近代社會一日不可或缺的。在國防上,惟有扎實的電子工業(yè)基礎,才有強大的國防能力,1991年的波斯灣戰(zhàn)爭中,美國已經(jīng)把新一代電子武器發(fā)揮得淋漓盡致。從1970年代以來,美國與日本間發(fā)生多次貿(mào)易摩擦,但最后在許多項目美國都妥協(xié)了,但是為了半導體,雙方均不肯輕易讓步,最后兩國政府慎重其事地簽訂了協(xié)議,足證對此事的重視程度,這是因為半導體工業(yè)發(fā)展的成敗,關系著國家的命脈,不可不慎。在臺灣,半導體工業(yè)是新竹科學園區(qū)的主要支柱,半導體公司也是最賺錢的企業(yè),臺灣如果要成為明日的科技硅島,半導體工業(yè)是我們必經(jīng)的途徑。

  半導體的起源


  在二十世紀的近代科學,特別是量子力學發(fā)展知道金屬材料擁有良好的導電與導熱特性,而陶瓷材料則否,性質(zhì)出來之前,人們對于四周物體的認識仍然屬于較為巨觀的了解,那時已經(jīng)介于這兩者之間的,就是半導體材料。

  英國科學家法拉第(Michael Faraday, 1791~1867),在電磁學方面擁有許多貢獻,但較不為人所知的,則是他在1833年發(fā)現(xiàn)的其中一種半導體材料:硫化銀,因為它的電阻隨著溫度上升而降低,當時只覺得這件事有些奇特,并沒有激起太大的火花;然而,今天我們已經(jīng)知道,隨著溫度的提升,晶格震動越厲害,使得電阻增加,但對半導體而言,溫度上升使自由載子的濃度增加,反而有助于導電,這也是半導體一個非常重要的物理性質(zhì)。

  1874年,德國的布勞恩(Ferdinand Braun,1850~1918),注意到硫化物的電導率與所加電壓的方向有關,這就是半導體的整流作用。但直到1906年,美國電機發(fā)明家匹卡(G. W. Pickard,1877~1956),才發(fā)明了第一個固態(tài)電子組件:無線電波偵測器(cat’s whisker),它使用金屬與硅或硫化鉛相接觸所產(chǎn)生的整流功能,來偵測無線電波。在整流理論方面,德國的蕭特基(Walter Schottky,1886~1976)在1939年,于「德國物理學報」發(fā)表了一篇有關整流理論的重要論文,做了許多推論,他認為金屬與半導體間有能障(potential barrier)的存在,其主要貢獻就在于精確計算出這個能障的形狀與寬度。至于現(xiàn)在為大家所接受的整流理論,則是1942年,由索末菲(Arnold Sommerfeld, 1868~1951)的學生貝特(Hans Bethe,1906~  )所發(fā)展出來,他提出的就是熱電子發(fā)射理論(thermionic emission),這些具有較高能量的電子,可越過能障到達另一邊,其理論也與實驗結果較為符合。

  在半導體領域中,與整流理論同等重要的,就是能帶理論。布洛赫(Felix Bloch,1905~1983)在這方面做出了重要的貢獻,其定理是將電子波函數(shù)加上了周期性的項,首開能帶理論的先河。另一方面,德國人佩爾斯(Rudolf Peierls, 1907~  ) 于1929年,則指出一個幾乎完全填滿的能帶,其電特性可以用一些帶正電的電荷來解釋,這就是電洞概念的濫觴;他后來提出的微擾理論,解釋了能隙(Energy gap)存在! 

  半導體的發(fā)明

  早在1930與1940年代,使用半導體制作固態(tài)放大器的想法就持續(xù)不絕;第一個有實驗結果的放大器是1938年,由波歐(Robert Pohl, 1884~1976)與赫希(Rudolf Hilsch)所做的,使用的是溴化鉀晶體與鎢絲做成的閘極,盡管其操作頻率只有一赫茲,并無實際用途,卻證明了類似真空管的固態(tài)三端子組件的實用性。

  二次大戰(zhàn)后,美國的貝爾實驗室(Bell Lab),決定要進行一個半導體方面的計畫,目標自然是想做出固態(tài)放大器,它們在1945年7月,成立了固態(tài)物理的研究部門,經(jīng)理正是蕭克萊(William Shockley, 1910~1989)與摩根(Stanley Morgan)。由于使用場效應(field effect)來改變電導的許多實驗都失敗了,巴丁(John Bardeen,1908~1991)推定是因為半導體具有表面態(tài)(surface state)的關系,為了避開表面態(tài)的問題,1947年11月17日,巴丁與布萊登(Walter Brattain 1902~1987)在硅表面滴上水滴,用涂了蠟的鎢絲與硅接觸,再加上一伏特的電壓,發(fā)現(xiàn)流經(jīng)接點的電流增加了!但若想得到足夠的功率放大,相鄰兩接觸點的距離要接近到千分之二英吋以下。12月16日,布萊登用一塊三角形塑料,在塑料角上貼上金箔,然后用刀片切開一條細縫,形成了兩個距離很近的電極


  從有人類以來,已經(jīng)過了上百萬年的歲月。社會的進步可以用當時人類使用的器物來代表,從遠古的石器時代、到銅器,再進步到鐵器時代,F(xiàn)今,以硅為原料的電子組件產(chǎn)值,則超過了以鋼為原料的產(chǎn)值,人類的歷史因而正式進入了一個新的時代,也就是硅的時代。硅所代表的正是半導體組件,包括存儲元件、微處理機、邏輯組件、光電組件與偵測器等等在內(nèi),舉凡電視、電話、計算機、電冰箱、汽車,這些半導體組件無時無刻都在為我們服務。
  硅是地殼中最常見的元素,許多石頭的主要成分都是二氧化硅,然而,經(jīng)過數(shù)百道制程做出的集成電路,其價值可達上萬美金;把石頭變成硅芯片的過程是一項點石成金的成就,也是近代科學的奇跡!

  在日本,有人把半導體比喻為工業(yè)社會的稻米,是近代社會一日不可或缺的。在國防上,惟有扎實的電子工業(yè)基礎,才有強大的國防能力,1991年的波斯灣戰(zhàn)爭中,美國已經(jīng)把新一代電子武器發(fā)揮得淋漓盡致。從1970年代以來,美國與日本間發(fā)生多次貿(mào)易摩擦,但最后在許多項目美國都妥協(xié)了,但是為了半導體,雙方均不肯輕易讓步,最后兩國政府慎重其事地簽訂了協(xié)議,足證對此事的重視程度,這是因為半導體工業(yè)發(fā)展的成敗,關系著國家的命脈,不可不慎。在臺灣,半導體工業(yè)是新竹科學園區(qū)的主要支柱,半導體公司也是最賺錢的企業(yè),臺灣如果要成為明日的科技硅島,半導體工業(yè)是我們必經(jīng)的途徑。

  半導體的起源


  在二十世紀的近代科學,特別是量子力學發(fā)展知道金屬材料擁有良好的導電與導熱特性,而陶瓷材料則否,性質(zhì)出來之前,人們對于四周物體的認識仍然屬于較為巨觀的了解,那時已經(jīng)介于這兩者之間的,就是半導體材料。

  英國科學家法拉第(Michael Faraday, 1791~1867),在電磁學方面擁有許多貢獻,但較不為人所知的,則是他在1833年發(fā)現(xiàn)的其中一種半導體材料:硫化銀,因為它的電阻隨著溫度上升而降低,當時只覺得這件事有些奇特,并沒有激起太大的火花;然而,今天我們已經(jīng)知道,隨著溫度的提升,晶格震動越厲害,使得電阻增加,但對半導體而言,溫度上升使自由載子的濃度增加,反而有助于導電,這也是半導體一個非常重要的物理性質(zhì)。

  1874年,德國的布勞恩(Ferdinand Braun,1850~1918),注意到硫化物的電導率與所加電壓的方向有關,這就是半導體的整流作用。但直到1906年,美國電機發(fā)明家匹卡(G. W. Pickard,1877~1956),才發(fā)明了第一個固態(tài)電子組件:無線電波偵測器(cat’s whisker),它使用金屬與硅或硫化鉛相接觸所產(chǎn)生的整流功能,來偵測無線電波。在整流理論方面,德國的蕭特基(Walter Schottky,1886~1976)在1939年,于「德國物理學報」發(fā)表了一篇有關整流理論的重要論文,做了許多推論,他認為金屬與半導體間有能障(potential barrier)的存在,其主要貢獻就在于精確計算出這個能障的形狀與寬度。至于現(xiàn)在為大家所接受的整流理論,則是1942年,由索末菲(Arnold Sommerfeld, 1868~1951)的學生貝特(Hans Bethe,1906~  )所發(fā)展出來,他提出的就是熱電子發(fā)射理論(thermionic emission),這些具有較高能量的電子,可越過能障到達另一邊,其理論也與實驗結果較為符合。

  在半導體領域中,與整流理論同等重要的,就是能帶理論。布洛赫(Felix Bloch,1905~1983)在這方面做出了重要的貢獻,其定理是將電子波函數(shù)加上了周期性的項,首開能帶理論的先河。另一方面,德國人佩爾斯(Rudolf Peierls, 1907~  ) 于1929年,則指出一個幾乎完全填滿的能帶,其電特性可以用一些帶正電的電荷來解釋,這就是電洞概念的濫觴;他后來提出的微擾理論,解釋了能隙(Energy gap)存在! 

  半導體的發(fā)明

  早在1930與1940年代,使用半導體制作固態(tài)放大器的想法就持續(xù)不絕;第一個有實驗結果的放大器是1938年,由波歐(Robert Pohl, 1884~1976)與赫希(Rudolf Hilsch)所做的,使用的是溴化鉀晶體與鎢絲做成的閘極,盡管其操作頻率只有一赫茲,并無實際用途,卻證明了類似真空管的固態(tài)三端子組件的實用性。

  二次大戰(zhàn)后,美國的貝爾實驗室(Bell Lab),決定要進行一個半導體方面的計畫,目標自然是想做出固態(tài)放大器,它們在1945年7月,成立了固態(tài)物理的研究部門,經(jīng)理正是蕭克萊(William Shockley, 1910~1989)與摩根(Stanley Morgan)。由于使用場效應(field effect)來改變電導的許多實驗都失敗了,巴丁(John Bardeen,1908~1991)推定是因為半導體具有表面態(tài)(surface state)的關系,為了避開表面態(tài)的問題,1947年11月17日,巴丁與布萊登(Walter Brattain 1902~1987)在硅表面滴上水滴,用涂了蠟的鎢絲與硅接觸,再加上一伏特的電壓,發(fā)現(xiàn)流經(jīng)接點的電流增加了!但若想得到足夠的功率放大,相鄰兩接觸點的距離要接近到千分之二英吋以下。12月16日,布萊登用一塊三角形塑料,在塑料角上貼上金箔,然后用刀片切開一條細縫,形成了兩個距離很近的電極

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