1前言

　　集成電路測(cè)試機(jī)的種類(lèi),若依照其測(cè)試功能一般可區(qū)分為logic測(cè)試機(jī)，memory測(cè)試機(jī)及mixed-signal測(cè)試機(jī)三大類(lèi)。其中l(wèi)ogic測(cè)試機(jī)應(yīng)用于一般消費(fèi)性ic，如voice，mcuic等測(cè)試使用，memory測(cè)試機(jī)應(yīng)用于dram，flash，sram等ic測(cè)試使用，而mixed-signed測(cè)試機(jī)，則應(yīng)用于mixed-signalic測(cè)試，如vedio，socic等測(cè)試使用。

　　雖然不同種類(lèi)的ic測(cè)試機(jī)使用于不同類(lèi)型的ic測(cè)試使用，但其最基本的測(cè)試功能及原理實(shí)際上差異性并不大，只是不同類(lèi)型的測(cè)試機(jī)多了某些特別的測(cè)試功能罷了，其中以logic測(cè)試機(jī)之測(cè)試功能最為基本，故本文將以logic測(cè)試機(jī)之功能及使用作為ic測(cè)試機(jī)之介紹。logicic測(cè)試機(jī)之功能一般可區(qū)分為：ac測(cè)試部分，dc測(cè)試部分，電源供給部分。

　�。�1）ac測(cè)試部分

　　該ac測(cè)試部分最主要的功能是將利用存放在localmemory的pattern，經(jīng)由時(shí)序產(chǎn)生模塊(timinggenerator)，波形格式模塊(waveformformatter)及信號(hào)準(zhǔn)位驅(qū)動(dòng)模塊（driver）產(chǎn)生給dutic所需要的輸入信號(hào)。同時(shí)dutic輸出的信號(hào)也經(jīng)由信號(hào)準(zhǔn)位比較模塊(comparator)，時(shí)序產(chǎn)生模塊（timinggenerator）及處理器（sequencer）和存放在localmemory的pattern比較(comparison)以測(cè)試該ic的輸出信號(hào)是否正常。ac測(cè)試部分其模塊如圖1所示。

　�。�2）dc測(cè)試部分

　　dc的測(cè)試是使用參數(shù)量測(cè)模塊（parametermeasurementunit,pmu）來(lái)量測(cè)dutic有關(guān)該ic的漏電源，輸出入工作電流/電壓是否正常，pmu是一組可以提供電流源及電壓源的電源供應(yīng)器，同時(shí)也是一組具有可量測(cè)電流值及電壓值的量測(cè)設(shè)備。pmu具有電流及電壓限制功能，可讓pmu所施予電流及電壓值不會(huì)超過(guò)該電流及電壓的限制值，以保護(hù)dutic不被施予的電流及電壓燒掉。dc測(cè)試部分其模塊如圖2所示。

　�。�3）電源供應(yīng)部分

　　電源供給模塊（devicepowersupply,dps）來(lái)供給dutic工作所需要的電源，并量測(cè)該ic的靜態(tài)或動(dòng)態(tài)電流是否正常。dps是一組可以提供電壓源的電源供應(yīng)器，同時(shí)也是一組具有可量測(cè)電流值的量測(cè)設(shè)備。dps具有電流限制功能，可讓pmu所施予電流值不會(huì)超過(guò)該電流的限制值，以保護(hù)dutic不被施予的電流燒掉。電源供給部分其模塊如圖3所示。

　　2ic測(cè)試機(jī)的使用

　　ic測(cè)試機(jī)的使用包含有：測(cè)試圖樣編輯（testpattern），測(cè)試程序（testprogram）編寫(xiě)，測(cè)試程序除錯(cuò)，ic電氣特性分析以及測(cè)試結(jié)果統(tǒng)計(jì)等主要項(xiàng)目。

　�。�1）測(cè)試圖樣編輯

　　測(cè)試圖樣分為二部分，第一部分為控制指令（u-intrution）：控制測(cè)試圖樣的測(cè)試動(dòng)作流程，其指令如：repeat，match，jump等，另一部分為：圖樣符號(hào)(patternsymbol)如0，1，l，h，z等。測(cè)試圖樣是用于ic功能ac測(cè)試使用，ic測(cè)試機(jī)的測(cè)試圖樣編輯功能提能供testpattern的顯示，修改，貯存等功能。

　　（2）測(cè)試程序編寫(xiě)　

　　依照ic需要測(cè)試項(xiàng)目編寫(xiě)測(cè)試程序，程序編寫(xiě)可以利用圖像(icon)拉圖的方式編寫(xiě)，使用者只要在該測(cè)試圖像中輸入測(cè)試的參數(shù)就可以。此種使用方式對(duì)于測(cè)試程序編寫(xiě)較為容易。另一種是使用“指令”（command）方式編寫(xiě)測(cè)試程序，此種方式較為復(fù)雜，使用者需要熟記指令的語(yǔ)法，但對(duì)于特殊的ic測(cè)試應(yīng)用，指令的使用則較拉圖方式來(lái)得更有彈性且方便。

　�。�3）時(shí)序圖顯示（logicwaveform）

　　該功能可以記錄及顯示ic測(cè)機(jī)輸出信號(hào)的波形及dutic輸出信號(hào)的波形，若dutic輸出的信號(hào)和testpattern不一樣該時(shí)序圖顯示功能也能顯示出來(lái)。

　　（4）測(cè)試程序除錯(cuò)（debugging）

　　可以顯示各種量測(cè)的結(jié)果,同時(shí)也讓使用者直接修改測(cè)試參數(shù)，并可以立即量測(cè)。

　�。�5）shmoo分析

　　可量測(cè)及分析ic的電氣特性，使用者可以設(shè)定一個(gè)或多個(gè)測(cè)試參數(shù)的范圍值后，再量測(cè)ic，以得知ic在某測(cè)試范圍其功能會(huì)正常，在某測(cè)試范圍會(huì)發(fā)生異常，如此就可以得知該ic的使用電氣特性。

　�。�6）測(cè)試結(jié)果（summaryreport）

　　ic測(cè)試機(jī)會(huì)將ic所測(cè)試的項(xiàng)目及測(cè)試值顯示及記錄下來(lái)，同時(shí)也會(huì)將ic依照測(cè)試程序的設(shè)定，將不同測(cè)試項(xiàng)目的結(jié)果給予分類(lèi)及統(tǒng)計(jì)，以作為測(cè)試生產(chǎn)報(bào)表使用。

　　3總結(jié)

　　ic測(cè)試機(jī)除了給ic代工測(cè)試廠，作為ic測(cè)試使用之需要，同時(shí)也可以給ic設(shè)計(jì)公司，作為ic工程驗(yàn)證使用，它是十分方便且有用的設(shè)備，然而卻發(fā)現(xiàn)ic測(cè)試的需要較高于ic測(cè)試機(jī)所能提供的測(cè)試功能，其原因不外乎是當(dāng)ic有研發(fā)出來(lái)的新功能時(shí)，ic測(cè)試機(jī)才會(huì)要開(kāi)始開(kāi)始研發(fā)該部分的測(cè)試功能，故ic測(cè)試機(jī)總是無(wú)法完全滿(mǎn)足使用ic功能的測(cè)試需要，因?yàn)槿绱耍琲c測(cè)試將提供給每位ic測(cè)試工程師及ic測(cè)試機(jī)制造廠一個(gè)很大的努力空間，最后期望于未來(lái)將有更多的優(yōu)秀工程師能投入ic測(cè)試的領(lǐng)域，彼此相互研究及分享ic測(cè)試的經(jīng)驗(yàn)，進(jìn)而提高ic測(cè)試技術(shù)。