智能功率電路
發(fā)布時(shí)間:2008/5/28 0:00:00 訪問次數(shù):384
智能功率電路是指在一個(gè)芯片上把電壓的cmos的vlsi cpu、邏輯電路和模擬電路和高壓功率器件集成在一起。目前，智能功率電路的集成度還很低，只是幾個(gè)邏輯電路和高壓功率器件集成在一起。soi襯底可以靈活的把雙極性器件、高壓器件、低壓器件、soi器件或其它器件集成在同一個(gè)芯片上。圖1.28[45]給出了一個(gè)改進(jìn)后的智能功率電路的工藝流程。
圖1.28 鍵合智能功率電路
（1）在低摻雜的n-硅片上局部腐蝕，形成深度~3μm的淺槽，離子注入在淺槽的底部的下面形成n+
智能功率電路是指在一個(gè)芯片上把電壓的cmos的vlsi cpu、邏輯電路和模擬電路和高壓功率器件集成在一起。目前，智能功率電路的集成度還很低，只是幾個(gè)邏輯電路和高壓功率器件集成在一起。soi襯底可以靈活的把雙極性器件、高壓器件、低壓器件、soi器件或其它器件集成在同一個(gè)芯片上。圖1.28[45]給出了一個(gè)改進(jìn)后的智能功率電路的工藝流程。
圖1.28 鍵合智能功率電路
（1）在低摻雜的n-硅片上局部腐蝕，形成深度~3μm的淺槽，離子注入在淺槽的底部的下面形成n+
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