日本神視（sunx）于2006年9月1日上市通過流量變化來檢測壓力變動的傳感器“數(shù)字流量傳感器fm-100”系列產(chǎn)品。之所以采用檢測流量變化來檢測壓力，是因為流量的變化量要大于壓力的變化量，更容易檢測的緣故。能夠高精度地檢測以前的壓力傳感器難以察覺的微小壓力變動。適用于自動組裝設(shè)備、電子部件制造裝置以及半導(dǎo)體制造裝置。

外形尺寸方面，口徑4mm的型號為17×37×55mm。重量約為70g。雖然體型小巧，但借助白金芯片以及新機構(gòu)的整流方式，能夠?qū)崿F(xiàn)高精度檢測。線性為±5％f.s.。可用于無論正壓或負壓的吹洗氣體管理以及吸附管理。

適用流體方面，除了符合jisb8392-1.1.2～5.6.2標準的清潔空氣之外，還有符合jisb8392-1.1.2～1.6.2標準的壓縮空氣、氮氣。此次產(chǎn)品種類共有從額定流量范圍為50m～500ml/分的“fm-152-4”直至10～100l/分的“fm-115-ar4”等7種型號�！　�