同質(zhì)氧化反射鏡
發(fā)布時(shí)間:2008/12/5 0:00:00 訪問(wèn)次數(shù):534
近來(lái),用橫向濕法氧化工藝生長(zhǎng)的a1.o,半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)dbr被用來(lái)實(shí)現(xiàn)低閾值、高效率的vcsel。氧化物/半導(dǎo)體dbr的vcsel結(jié)構(gòu)方案也被提出。這種結(jié)構(gòu)的dbr的特點(diǎn)是折射率差高、高反射率波段范圍寬和反射相位變換平滑等。上述特點(diǎn)減小了光場(chǎng)在dbr中的滲透深度,這樣也相應(yīng)地減小了諧振腔的有效腔長(zhǎng),減少了諧振腔所產(chǎn)生的光模式,提高了激射效率。
采用a1.oy/gaas的dbr有一個(gè)技術(shù)難點(diǎn),就是在異質(zhì)界面處ga和0的鍵合力太小。
受熱或受壓都有可能引起dbr的斷層。為了解決這一問(wèn)題,人們?cè)诋愘|(zhì)界面間插入一個(gè)漸變或者均勻的algaas層,用來(lái)提高鍵合強(qiáng)度。這樣,該dbr結(jié)構(gòu)除了原有的兩個(gè)層之外,還增加了兩個(gè)algaas緩沖層,因此人們通常將氧化層的厚度設(shè)計(jì)的略薄于1/4波長(zhǎng)。這樣就構(gòu)成了一個(gè)緩變且非對(duì)稱的dbr。它的溫度特性與全芐導(dǎo)體dbr具有可比性,這表明a1xoy對(duì)有源區(qū)散熱并沒有太多影響。
歡迎轉(zhuǎn)載,信息來(lái)自維庫(kù)電子市場(chǎng)網(wǎng)(www.dzsc.com)
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采用a1.oy/gaas的dbr有一個(gè)技術(shù)難點(diǎn),就是在異質(zhì)界面處ga和0的鍵合力太小。
受熱或受壓都有可能引起dbr的斷層。為了解決這一問(wèn)題,人們?cè)诋愘|(zhì)界面間插入一個(gè)漸變或者均勻的algaas層,用來(lái)提高鍵合強(qiáng)度。這樣,該dbr結(jié)構(gòu)除了原有的兩個(gè)層之外,還增加了兩個(gè)algaas緩沖層,因此人們通常將氧化層的厚度設(shè)計(jì)的略薄于1/4波長(zhǎng)。這樣就構(gòu)成了一個(gè)緩變且非對(duì)稱的dbr。它的溫度特性與全芐導(dǎo)體dbr具有可比性,這表明a1xoy對(duì)有源區(qū)散熱并沒有太多影響。
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