VCSEL光腔的設(shè)計
發(fā)布時間:2008/12/5 0:00:00 訪問次數(shù):1146
在多對dbr結(jié)構(gòu)中,若中間區(qū)域某一層的厚度偏離1/4個波長,則在該結(jié)構(gòu)中會形成駐波。最簡單的情況是將中間的間隔設(shè)定為半波長,這樣可以與兩邊的dbr層一起,構(gòu)成了一個小的f-p諧振腔。vcsel的光腔厚度約為一個波長左右,如圖所示。光腔中的有源層兩邊圍著高帶隙的包層。低帶隙的有源層和高帶隙的包層材料中的導(dǎo)帶和價帶的偏移,限制了載流子的移動。為了在諧振腔里提供光增益,制作多量子阱結(jié)構(gòu),f-p腔的光場最大值就在中心處。將量子阱位置與光場最大值處交疊,量子阱就可以提供最大的增益。例如,對應(yīng)于發(fā)射波長650 nm,780 nm,850 nm,980 nm和1300 nm,其量子阱材料分別為ingap,a1gaas, gaas, ingaas不口ingaasp。
vcsel的激射需滿足諧振腔模式增益條件:
在vcsel中由于短諧振腔,與普通的邊發(fā)射激光器有很大的不同。這里定性地引入一個增強因子r,表征由于諧振腔中自發(fā)輻射的自相干效應(yīng)導(dǎo)致的增益增強,于是上式修正為
式中,dac和dex分別為有源區(qū)和包層的吸收損耗,r1,r2分別是上、下dbr的反射率ad為衍射損耗。為定量地探討vcsel的激射條件,光限制因子r采用近似公式r=2d/leff來計算,其中l(wèi)eff是vcsel的等效腔長。
vcsel激射的相位條件為
式中,θn和aex是波長為九的光在n型及p型dbr高反膜中引起的反射相移。
量子阱vcsel由于其光腔長度只有1~2 ;tm,其光波模式間隔有50~100 nm,而量子阱增益譜線寬度遠小于50 nm,因此在進行光腔設(shè)計時,首先要考慮vcsel的諧振腔膜與量子阱材料的波長匹配問題;其次為了降低器件的閾值電流密度,還要考慮整個光腔中的駐波場分布。通過調(diào)節(jié)空間層的厚度7使量子阱材料位于駐波場的峰值位置,以提高模式的光限制因子,增大模式增益系數(shù)。
vcsel中注入電流密度與模式增益的關(guān)系與普通量子阱激光器相同:
式中,騙為量子阱數(shù)。增加有源區(qū)量子阱數(shù)目,可以使光增益提高,降低閾值電流。但是,當(dāng)量子阱的數(shù)目增大到一定的數(shù)值時,將出現(xiàn)3個因素對器件的閾值電流密度產(chǎn)生影響。因為量子阱具有一定的寬度,因此不能使所有的量子阱都與駐波的峰值相對應(yīng),離峰值越遠的量子阱增益效率越低,因而無法提高光增益的效果。
總的穿透電流與量子阱的數(shù)目是成正比的,因此每增加一個量子阱就會使總的穿透電流增加,而穿透電流則是構(gòu)成整個器件閾值電流的一部分,因此閾值電流也會隨著穿透電流的增加而增加。
綜合考慮上述因素,對于腔長為凡的gaas/algaas基vcsel,量子阱數(shù)的最佳值為3。隨著dbr反射率的增加,所需阱數(shù)越來越少;閾值電流密度越來越低;垂直腔面發(fā)射激光器的腔長很短;注入面積可做得很。挥性磪^(qū)體積極。簞討B(tài)調(diào)制頻率有很大的提高。在相同的閾值電流密度下,注入面積越小,閾值電流越小,但是當(dāng)注入面積接近衍射波長尺寸時,衍射損耗加大,又使閾值電流迅速上升。注入面積太大易使注入電流分布不均勻而產(chǎn)生高階模。
歡迎轉(zhuǎn)載,信息來自維庫電子市場網(wǎng)(www.dzsc.com)
在多對dbr結(jié)構(gòu)中,若中間區(qū)域某一層的厚度偏離1/4個波長,則在該結(jié)構(gòu)中會形成駐波。最簡單的情況是將中間的間隔設(shè)定為半波長,這樣可以與兩邊的dbr層一起,構(gòu)成了一個小的f-p諧振腔。vcsel的光腔厚度約為一個波長左右,如圖所示。光腔中的有源層兩邊圍著高帶隙的包層。低帶隙的有源層和高帶隙的包層材料中的導(dǎo)帶和價帶的偏移,限制了載流子的移動。為了在諧振腔里提供光增益,制作多量子阱結(jié)構(gòu),f-p腔的光場最大值就在中心處。將量子阱位置與光場最大值處交疊,量子阱就可以提供最大的增益。例如,對應(yīng)于發(fā)射波長650 nm,780 nm,850 nm,980 nm和1300 nm,其量子阱材料分別為ingap,a1gaas, gaas, ingaas不口ingaasp。
vcsel的激射需滿足諧振腔模式增益條件:
在vcsel中由于短諧振腔,與普通的邊發(fā)射激光器有很大的不同。這里定性地引入一個增強因子r,表征由于諧振腔中自發(fā)輻射的自相干效應(yīng)導(dǎo)致的增益增強,于是上式修正為
式中,dac和dex分別為有源區(qū)和包層的吸收損耗,r1,r2分別是上、下dbr的反射率ad為衍射損耗。為定量地探討vcsel的激射條件,光限制因子r采用近似公式r=2d/leff來計算,其中l(wèi)eff是vcsel的等效腔長。
vcsel激射的相位條件為
式中,θn和aex是波長為九的光在n型及p型dbr高反膜中引起的反射相移。
量子阱vcsel由于其光腔長度只有1~2 ;tm,其光波模式間隔有50~100 nm,而量子阱增益譜線寬度遠小于50 nm,因此在進行光腔設(shè)計時,首先要考慮vcsel的諧振腔膜與量子阱材料的波長匹配問題;其次為了降低器件的閾值電流密度,還要考慮整個光腔中的駐波場分布。通過調(diào)節(jié)空間層的厚度7使量子阱材料位于駐波場的峰值位置,以提高模式的光限制因子,增大模式增益系數(shù)。
vcsel中注入電流密度與模式增益的關(guān)系與普通量子阱激光器相同:
式中,騙為量子阱數(shù)。增加有源區(qū)量子阱數(shù)目,可以使光增益提高,降低閾值電流。但是,當(dāng)量子阱的數(shù)目增大到一定的數(shù)值時,將出現(xiàn)3個因素對器件的閾值電流密度產(chǎn)生影響。因為量子阱具有一定的寬度,因此不能使所有的量子阱都與駐波的峰值相對應(yīng),離峰值越遠的量子阱增益效率越低,因而無法提高光增益的效果。
總的穿透電流與量子阱的數(shù)目是成正比的,因此每增加一個量子阱就會使總的穿透電流增加,而穿透電流則是構(gòu)成整個器件閾值電流的一部分,因此閾值電流也會隨著穿透電流的增加而增加。
綜合考慮上述因素,對于腔長為凡的gaas/algaas基vcsel,量子阱數(shù)的最佳值為3。隨著dbr反射率的增加,所需阱數(shù)越來越少;閾值電流密度越來越低;垂直腔面發(fā)射激光器的腔長很短;注入面積可做得很;有源區(qū)體積極小:動態(tài)調(diào)制頻率有很大的提高。在相同的閾值電流密度下,注入面積越小,閾值電流越小,但是當(dāng)注入面積接近衍射波長尺寸時,衍射損耗加大,又使閾值電流迅速上升。注入面積太大易使注入電流分布不均勻而產(chǎn)生高階模。
歡迎轉(zhuǎn)載,信息來自維庫電子市場網(wǎng)(www.dzsc.com)
上一篇:同質(zhì)氧化反射鏡
熱門點擊
- Bi-CMOS微電子技術(shù)簡介
- 半導(dǎo)體電致發(fā)光基礎(chǔ)理論
- 分布反饋激光器(DFB-LD)
- 全半導(dǎo)體布拉格反射鏡簡介
- 交流電流測量電路的工作原理
- SOI微電子技術(shù)簡介
- VCSEL光腔的設(shè)計
- 接觸式/接近式光刻機
- 光發(fā)射器件能帶結(jié)構(gòu)
- 硅基半導(dǎo)體激光器
推薦技術(shù)資料
- FU-19推挽功放制作
- FU-19是國產(chǎn)大功率發(fā)射雙四極功率電二管,EPL20... [詳細]
- 650V雙向GaNFast氮化鎵功率芯片
- 業(yè)內(nèi)領(lǐng)先8英寸硅基氮化鎵技術(shù)工
- 新一代600V超級接面MOSFET KP38
- KEC 第三代SuperJunction M
- KEC半導(dǎo)體650V碳化硅(SiC)肖特基二
- Arrow Lake U 系列
- 多媒體協(xié)處理器SM501在嵌入式系統(tǒng)中的應(yīng)用
- 基于IEEE802.11b的EPA溫度變送器
- QUICCEngine新引擎推動IP網(wǎng)絡(luò)革新
- SoC面世八年后的產(chǎn)業(yè)機遇
- MPC8xx系列處理器的嵌入式系統(tǒng)電源設(shè)計
- dsPIC及其在交流變頻調(diào)速中的應(yīng)用研究