前在商業(yè)上應(yīng)用的玻璃基板，其主要厚度為0.7 mm及0.6m m，且即將邁入更�。ㄈ�0.4mm）厚度之制程。基本上，一片tft- lcd面板需使用到二片玻璃基板，分別供作底層玻璃基板及彩色濾光片（color filter）之底板使用。一般玻璃基板制造供貨商對于液晶面板組裝廠及其彩色濾光片加工制造廠之玻璃基板供應(yīng)量之比例約為1:1.1至1:1.3左右。

　　lcd所用之玻璃基板概可分為堿玻璃及無堿玻璃兩大類；堿玻璃包括鈉玻璃及中性硅酸硼玻璃兩種，多應(yīng)用于tn及stn lcd上，主要生產(chǎn)廠商有日本板硝子（nht）、旭硝子（asahi）及中央硝子（central glass）等，以浮式法制程生產(chǎn)為主；無堿玻璃則以無堿硅酸鋁玻璃（alumino silicate glass，主成分為sio2、al2o3、b2o3及bao等）為主，其堿金屬總含量在1%以下，主要用于tft- lcd上，領(lǐng)導(dǎo)廠商為美國康寧（corning）公司，以溢流熔融法制程生產(chǎn)為主。

　　超薄平板玻璃基材之特性主要取決于玻璃的組成，而玻璃的組成則影響玻璃的熱膨脹、黏度（應(yīng)變、退火、轉(zhuǎn)化、軟化和工作點）、耐化學(xué)性、光學(xué)穿透吸收及在各種頻率與溫度下的電氣特性，產(chǎn)品質(zhì)量除深受材料組成影響外，也取決于生產(chǎn)制程。

　　玻璃基板在tn/stn、tft-lcd應(yīng)用上，要求的特性有表面特性﹑耐熱性﹑耐藥品性及堿金屬含量等；以下僅就影響tft- lcd用玻璃基板之主要物理特性說明如下：

　　1 .張力點（strain point）：為玻璃密積化的一種指標(biāo)，須耐光電產(chǎn)品液晶顯示器生產(chǎn)制程之高溫。

　　2 .比重：對tft- lcd而言，筆記型計算機為目前最大的市場，因此該玻璃基板之密度越小越好，以便于運送及攜帶。

　　3 .熱膨脹系數(shù)：該系數(shù)將決定玻璃材質(zhì)因溫度變化造成外觀尺寸之膨脹或收縮之比例，其系數(shù)越低越好，以使大屏幕之熱脹冷縮減至最低。

　　其余有關(guān)物理特性之指標(biāo)尚有熔點、軟化點、耐化學(xué)性、機械強度、光學(xué)性質(zhì)及電氣特性等，皆可依使用者之特定需求而加以規(guī)范。

　　整個玻璃基板的制程中，主要技術(shù)包括進料、薄板成型及后段加工三部分，其中進料技術(shù)主要控制于配方的好壞，首先是在高溫的熔爐中將玻璃原料熔融成低黏度且均勻的玻璃熔體，不但要考慮玻璃各項物理與化學(xué)特性，并需在不改變化學(xué)組成的條件下，選取原料最佳配方，以便有效降低玻璃熔融溫度，使玻璃澄清，同時達到玻璃特定性能，符合實際應(yīng)用之需求。而薄板成型技術(shù)則攸關(guān)尺寸精度、表面性質(zhì)和是否需進一步加工研磨，以達成特殊的物理、化學(xué)特性要求，后段加工則包含玻璃之分割、研磨、洗凈及熱處理等制程。

　　到目前為止，生產(chǎn)平面顯示器用玻璃基板有三種主要之制程技術(shù)，分別為浮式法（float technology）、流孔下引法（slot down draw）及溢流熔融法（overflow fusion technology）�！案∈椒ā币蛳邓揭斓年P(guān)系，表面會產(chǎn)生傷痕及凹凸，需再經(jīng)表面研磨加工，故投資金額較高，惟其具有可生產(chǎn)較寬之玻璃產(chǎn)品（寬幅可達2 . 5公尺）且產(chǎn)能較大（約達1 0萬平方公尺/月）之優(yōu)點；“溢流熔融法”有表面特性較能控制、不用研磨、制程較簡單等優(yōu)點，特別適用于產(chǎn)制厚度小于2 m m的超薄平板玻璃，但生產(chǎn)之玻璃寬幅受限于1.5米以下，產(chǎn)能因而較小。浮式法可以生產(chǎn)適用于各種平面顯示器使用之玻璃基板，而溢流熔融法目前則僅應(yīng)用于生產(chǎn)tft- lcd玻璃基板。以下僅就上述三種制程技術(shù)分別說明如下：

　�。� 1 ） 浮式法：

　　為目前最著名的平板玻璃制造技術(shù)，該法系將熔爐中熔融之玻璃膏輸送至液態(tài)錫床，因黏度較低，可利用檔板或拉桿來控制玻璃的厚度，隨著流過錫床距離的增加，玻璃膏便漸漸的固化成平板玻璃，再利用導(dǎo)輪將固化后的玻璃平板引出，再經(jīng)退火、切割等后段加工程序而成。

　　以浮式法生產(chǎn)超薄平板玻璃時應(yīng)控制較低之玻璃膏進料量，先將進入錫床的玻璃帶（ribbon）冷卻至700℃左右，此時玻璃帶的黏度約為108泊（poise；1泊= 1g/cm·sec ），再利用邊緣滾輪拉住浮于液態(tài)錫上的玻璃膏，并向外展拉后，再將玻璃帶加熱到850℃，配合輸送帶滾輪施加外力拉引而成，以浮式法技術(shù)拉制超薄平板玻璃如圖三所示。

　　浮式法技術(shù)系采用水平引出的方式，因此比較容易利用拉長水平方向的生產(chǎn)線來達到退火的要求。浮式法技術(shù)未能廣泛應(yīng)用于生產(chǎn)厚度小于2 m m超薄平板玻璃之主要原因乃系其無法達到所要求的經(jīng)濟規(guī)模。舉例來說，浮式法技術(shù)的一日產(chǎn)量幾乎可以滿足目前臺灣市場之月消耗量；如果用浮式法技術(shù)生產(chǎn)超薄平板玻璃，一般多系以非連續(xù)式槽窯（daytank）生產(chǎn)，因此該槽窯設(shè)計之最適化就顯得相當(dāng)重要。

　　（ 2 ） 流孔下引法：

　　就平面顯示器所需的特殊超薄平板玻璃而言，有不少廠商是使用流孔下引法技術(shù)生產(chǎn)，該法系以低黏度的均質(zhì)玻璃膏導(dǎo)入鉑合金所制成的流孔漏板（ slot bushing ）槽中，利用重力和下拉的力量及模具開孔的大小來控制玻璃之厚度，其中溫度和流孔開孔大小共同決定玻璃產(chǎn)量，而流