1．潔凈技術(shù)       HA5025IB
    潔凈技術(shù)(clean room)又稱潔凈室技術(shù)，是指將一定空間范圍內(nèi)空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物排除，并將室內(nèi)的溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪聲、振動(dòng)及照明、靜電控制在某一要求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)的房間。也就是不論外面環(huán)境空氣條件如何變化，其室內(nèi)均保持設(shè)定要求的潔凈度、溫濕度及壓力等性能。
    潔凈技術(shù)從應(yīng)用領(lǐng)域可以分為生物潔凈室和工業(yè)潔凈室兩大類。工業(yè)潔凈室以無生命微粒的控制為對象，其中電子制造業(yè)占有很大比例。以微電子制造為代表，包括光磁產(chǎn)品制造（光盤、膠片、磁帶生產(chǎn)）、平板顯示、計(jì)算機(jī)硬盤和其他精密光電產(chǎn)品的制造、檢測和包裝等工作都離不開潔凈室。
    不同行業(yè)、不同產(chǎn)品、不同加工工序?qū)崈羰矣胁煌�，為此國際標(biāo)準(zhǔn)組織ISO及一些先進(jìn)制造國家都制定了相應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)，例如國際標(biāo)準(zhǔn)組織的IS0 14644-1《空氣潔凈度等級劃分》及美國的FED-STD-2標(biāo)準(zhǔn)等。中國在2001年發(fā)布的GB 50073-2001國家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》(Code for Design of Clean Room)，在空氣潔凈度等級劃分上，明確等效采用國際標(biāo)準(zhǔn)IS014611-1。

    2．半導(dǎo)體制造與環(huán)境
    由于集成電路制造屬于超精密制造，因此對制造環(huán)境有極高的要求，芯片必須在潔凈室乃至超凈室條件下生產(chǎn)。圖7.5.1表示人類頭發(fā)與45nm特征尺寸大小比較示意圖頭發(fā)絲對于45nm半導(dǎo)體制造特征尺寸而言，絕對是龐然大物，可以想象頭發(fā)絲落在芯片上會(huì)是什么結(jié)果。如圖7.5.2所示為晶圓上微粒嵌入及造成污染失效示意與實(shí)物放大圖。

    
    3．芯片制造環(huán)境要求          HA7210IF
   加工半導(dǎo)體芯片要求級別最高的潔凈室，也稱為超凈室，要求：
   ①1m³中粒徑在0.lμm以上的浮游微粒數(shù)在10個(gè)以下（IS01級）；
   ②溫度保持在(23±1)℃；
   ③濕度保持在(45±5)%;
   ④污染氣體分子保持在十億分之一以下。
    為了確保超凈室的清潔度，要使用夠?yàn)V掉99.9999%以上的微粒的化學(xué)過濾器，對構(gòu)成超凈室的材料和設(shè)備器材進(jìn)行密封，采取措施控制室內(nèi)氣壓、氣流的走向，需要同時(shí)兼顧操作性、經(jīng)濟(jì)性和環(huán)境保護(hù)等問題。此外對于工作人員進(jìn)入超凈室的防護(hù)要求以及物料出入的管理措施，對保證超凈室的清潔度都是必不可少的。