Model 4200-SCS PIV(脈沖I-V)子系統(tǒng)
發(fā)布時(shí)間:2007/8/23 0:00:00 訪問次數(shù):664
吉時(shí)利 (Keithley) 儀器公司在其4200型半導(dǎo)體特性分析系統(tǒng)中新增加了脈沖信號發(fā)生和測量功能,支持脈沖式的半導(dǎo)體特性分析功能。新的PIV(脈沖I-V)子系統(tǒng),更便于進(jìn)行高介電(High-k)材料、熱敏感器件和先進(jìn)存儲芯片等的前沿技術(shù)研究,使其測量更加準(zhǔn)確,產(chǎn)品投入市場更加快速。據(jù)稱這是第一款商用化的集成了精確、可重復(fù)的脈沖和DC測量于一體的解決方案,而且使用非常方便。
脈沖I-V (簡稱PIV)子系統(tǒng)是吉時(shí)利公司Model 4200-SCS系統(tǒng)的一個(gè)新增選項(xiàng)。Model 4200-SCS系統(tǒng)適用于實(shí)驗(yàn)室級別的精準(zhǔn)DC特性測量和分析,具有亞飛安級的微電流分辨率和實(shí)時(shí)繪圖、數(shù)據(jù)分析和處理能力。該系統(tǒng)集成了目前最先進(jìn)的半導(dǎo)體特性分析性能,包括一臺帶有Windows XP操作系統(tǒng)和大容量存儲器的嵌入式PC機(jī)。
脈沖I-V (PIV)子系統(tǒng)建立在一個(gè)新的雙通道脈沖發(fā)生器卡上,該卡的特點(diǎn)是擁有兩個(gè)獨(dú)立的通道,頻率范圍從1Hz到50MHz。它能夠產(chǎn)生短到10納秒的脈沖,允許對SOI和其他65nm以及更小尺寸的器件和過程進(jìn)行真實(shí)的等溫脈沖測量。精細(xì)的脈沖邊緣的緩慢控制允許對界面態(tài)、AC Stress測試和存儲器測試進(jìn)行精確的源和測量。用戶能夠控制幾個(gè)脈沖參數(shù),例如:脈沖寬度、占空比、升降時(shí)間、幅度和偏移量。把脈沖式的功能和測量同Model 4200-SCS世界領(lǐng)先的DC特性結(jié)合起來,這在市場上尚是唯一的。
與脈沖I-V (PIV)子系統(tǒng)捆綁在一起的新的、正在申請專利的軟件,無論在準(zhǔn)確度還是在可重復(fù)性方面都帶來了更好的效果。集成的軟件和面向用戶的友好界面都是很容易學(xué)習(xí)和使用的,所以即使是非專業(yè)的用戶都能快速上手并且得到很好的脈沖I-V測量結(jié)果。PIV軟件控制著脈沖發(fā)生器和測量,設(shè)置和驅(qū)動雙通道脈沖發(fā)生器的脈沖產(chǎn)生、觸發(fā)、進(jìn)行脈沖測量,并收集和提交數(shù)據(jù)。
新的PIV軟件套裝,具有為保證測量完整性而設(shè)置的電纜補(bǔ)償算法和為精確的脈沖極限電壓提取設(shè)置的Load-line校正方案。
PIV子系統(tǒng)內(nèi)包含了一些樣例方案(Sample Projects)和代碼,用于執(zhí)行脈沖I-V和界面態(tài)測試,節(jié)省軟件開發(fā)的時(shí)間和費(fèi)用。完整的PIV子系統(tǒng)縮短了脈沖測量的學(xué)習(xí)曲線,還允許在單一系統(tǒng)中進(jìn)行多種測試。
吉時(shí)利 (Keithley) 儀器公司在其4200型半導(dǎo)體特性分析系統(tǒng)中新增加了脈沖信號發(fā)生和測量功能,支持脈沖式的半導(dǎo)體特性分析功能。新的PIV(脈沖I-V)子系統(tǒng),更便于進(jìn)行高介電(High-k)材料、熱敏感器件和先進(jìn)存儲芯片等的前沿技術(shù)研究,使其測量更加準(zhǔn)確,產(chǎn)品投入市場更加快速。據(jù)稱這是第一款商用化的集成了精確、可重復(fù)的脈沖和DC測量于一體的解決方案,而且使用非常方便。
脈沖I-V (簡稱PIV)子系統(tǒng)是吉時(shí)利公司Model 4200-SCS系統(tǒng)的一個(gè)新增選項(xiàng)。Model 4200-SCS系統(tǒng)適用于實(shí)驗(yàn)室級別的精準(zhǔn)DC特性測量和分析,具有亞飛安級的微電流分辨率和實(shí)時(shí)繪圖、數(shù)據(jù)分析和處理能力。該系統(tǒng)集成了目前最先進(jìn)的半導(dǎo)體特性分析性能,包括一臺帶有Windows XP操作系統(tǒng)和大容量存儲器的嵌入式PC機(jī)。
脈沖I-V (PIV)子系統(tǒng)建立在一個(gè)新的雙通道脈沖發(fā)生器卡上,該卡的特點(diǎn)是擁有兩個(gè)獨(dú)立的通道,頻率范圍從1Hz到50MHz。它能夠產(chǎn)生短到10納秒的脈沖,允許對SOI和其他65nm以及更小尺寸的器件和過程進(jìn)行真實(shí)的等溫脈沖測量。精細(xì)的脈沖邊緣的緩慢控制允許對界面態(tài)、AC Stress測試和存儲器測試進(jìn)行精確的源和測量。用戶能夠控制幾個(gè)脈沖參數(shù),例如:脈沖寬度、占空比、升降時(shí)間、幅度和偏移量。把脈沖式的功能和測量同Model 4200-SCS世界領(lǐng)先的DC特性結(jié)合起來,這在市場上尚是唯一的。
與脈沖I-V (PIV)子系統(tǒng)捆綁在一起的新的、正在申請專利的軟件,無論在準(zhǔn)確度還是在可重復(fù)性方面都帶來了更好的效果。集成的軟件和面向用戶的友好界面都是很容易學(xué)習(xí)和使用的,所以即使是非專業(yè)的用戶都能快速上手并且得到很好的脈沖I-V測量結(jié)果。PIV軟件控制著脈沖發(fā)生器和測量,設(shè)置和驅(qū)動雙通道脈沖發(fā)生器的脈沖產(chǎn)生、觸發(fā)、進(jìn)行脈沖測量,并收集和提交數(shù)據(jù)。
新的PIV軟件套裝,具有為保證測量完整性而設(shè)置的電纜補(bǔ)償算法和為精確的脈沖極限電壓提取設(shè)置的Load-line校正方案。
PIV子系統(tǒng)內(nèi)包含了一些樣例方案(Sample Projects)和代碼,用于執(zhí)行脈沖I-V和界面態(tài)測試,節(jié)省軟件開發(fā)的時(shí)間和費(fèi)用。完整的PIV子系統(tǒng)縮短了脈沖測量的學(xué)習(xí)曲線,還允許在單一系統(tǒng)中進(jìn)行多種測試。
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