超聲波的接收超聲波的接收器是利用超聲波發(fā)生器的逆效應進行工作的。A4CA4.5Z當超聲波作用到電晶體片上時，使晶片伸縮，則在晶片的兩個面上產(chǎn)生交變電荷。這種電荷被轉換成電壓，經(jīng)過放大后送到測量電路，最后記錄或顯示出結果。它的結構和超聲波發(fā)生器基本相同，其原理如圖4-4所示。

   圖4-4超聲波發(fā)生器和接收器原理

  聲表面波的結構和工作原理聲表面波(SAW)傳感器的關鍵部件是SAW振蕩器，振蕩器是由聲表面波諧振器( SAWR)或聲表面波延遲線與放大器以及匹配網(wǎng)絡組成，SAWR是用叉指換能器及金屬式反射器構成，如圖4-5所示。叉指換能器及反射器是用半導體集成工藝將金屬鋁淀積在壓電基底材料上，再用光刻技將金屬薄膜刻成一定尺寸形狀的特殊結構。由SAWR組成的振蕩器結構原理圖，如圖4-6所示。