1)邁克爾遜干涉儀

   圖2 - 29為邁克爾遜(Michelson)干涉儀的基本原理圖，從光源發(fā)出的單色光波經(jīng)分束鏡分為二束，GS-R412一束到達(dá)參考反射鏡Mi形成干涉儀的參考臂，另一束到達(dá)測量反射鏡M2形成干涉儀的測量臂，這兩束光分別經(jīng)Mi和M2反射后，再經(jīng)分束鏡合成形成干涉，應(yīng)用光電檢測器可以檢測出參考光和測量光之間的干涉信號。干涉儀的測量臂用于感受外界被參量（如：值移、振動等）。以位移測量為例，M2移動A/，則引起干涉光強度變化次數(shù).

   n為干涉儀所在介質(zhì)的折射率；Ao為光源在真空中的波長。

   通過對n的計數(shù)以及對信號的細(xì)分處理技術(shù)就可以實現(xiàn)對A/的精密測量。由于光波波長在微米數(shù)量級，因此，這種測量技術(shù)可以達(dá)到很高的測量精度。

   2)馬赫一澤德干涉儀

   馬赫一澤德( Mach - Zehnder)干涉儀的原理如圖2- 30所示。從光源發(fā)出的光，經(jīng)分束鏡BSi分為參考光束和測量光束，這兩光束分別經(jīng)反射鏡Mi和M2反射后到達(dá)第二個分束鏡BS2，通過BS將測量光束和參考光束合成疊加，從而產(chǎn)生兩光束之間的干涉，應(yīng)光電檢測器件就可以將干涉信號檢測出來。