(1)縫寬越小，衍射效IR2166S應(yīng)越顯著，光學(xué)放大比越大；

   (2)縫寬變小，衍射條紋拉開(kāi)，光強(qiáng)分希各級(jí)次的絕對(duì)強(qiáng)度減弱，高級(jí)次條紋不能測(cè)量；

   (3)縫寬變大，條紋密集，測(cè)量靈敏度降低，當(dāng)6≥0. 5mm時(shí)，衍射測(cè)量就失去意義。

   衍射測(cè)量的最大量程是0. 5mm，絕對(duì)測(cè)量的量程是0.01~0.Smm。因此，衍射測(cè)量主要用于小量程的高精度測(cè)量。

   激光衍射測(cè)量主要依據(jù)單縫衍射和圓孔衍射的原理，通過(guò)測(cè)量單縫衍射暗條紋之間的距離或艾里斑第一暗環(huán)的直徑來(lái)確定被測(cè)量。根據(jù)不同的被測(cè)對(duì)象，測(cè)量方法主要有以下幾種。

   1．間隙測(cè)量法

   間隙測(cè)量法是基于單縫衍射原理，是衍射測(cè)量基本方法，主要用于以下幾個(gè)方面：

   (1)尺寸的比較測(cè)量。如圖7-21(a)所示，先用標(biāo)準(zhǔn)尺寸的工件相對(duì)參考邊的間隙作為零位，然后放上工件，測(cè)量間隙的變化量而推算出工件尺寸。

   (2)工件形狀的輪廓測(cè)量。如圖7-21(b)所示，同時(shí)轉(zhuǎn)動(dòng)參考物和工件，由間隙變化得到工件輪廓相對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)輪廓的偏差。