激光衍射的互補原理可由巴俾涅( Babinet)定理得出，如圖7- 25所示。

 設(shè)一個任意形狀的開孔屏，IRF520PBF在平面波照射下，接收屏上所得到的光波復(fù)振幅為Ei。在用同一平面波照射其互補屏?xí)r，接收屏上的復(fù)振幅為E2，則當(dāng)互補屏疊加時，由于開孔消失，在接收屏上的光強分布也應(yīng)為零，即有E =Ei+E2 =0，因此有Ei=- E2．I Eil2=I E212。表明，由兩個互補屏所產(chǎn)生的衍射圖形其形狀和光強完全相同，僅復(fù)振幅相相位差訂。利用這種效

應(yīng)，就可以應(yīng)用同樣的原理來對各種細(xì)絲或薄帶厚度尺寸進(jìn)行高精確度的非接觸測量。

   圖7 -26所示為測量細(xì)絲直徑的原理圖，利用透鏡將衍射條紋成像于透鏡的焦平面上，式中，s為暗條紋間距；Xh為五級暗條紋的位置；廠為透鏡焦距。