兩者都是以光波波長(zhǎng)為標(biāo)準(zhǔn)對(duì)被測(cè)長(zhǎng)度進(jìn)行精密度量的儀器，區(qū)別如下：

   (1)單頻激光干涉儀中，ICB2FL02G可動(dòng)的M2鏡移動(dòng)時(shí)引起兩臂相位差改變，直接檢測(cè)的是兩臂光束干涉條紋強(qiáng)度和對(duì)比度的變動(dòng)，屬于相位檢測(cè)系統(tǒng)；

  雙頻測(cè)長(zhǎng)儀中，M2鏡移動(dòng)引起多普勒頻移，直接檢測(cè)的是測(cè)量信號(hào)與參考信號(hào)的頻率差，所以，屬于頻率調(diào)制檢測(cè)系統(tǒng)。

   (2)當(dāng)M2鏡不動(dòng)時(shí)，前者的干涉信號(hào)是介于最亮與最暗之間的直流信號(hào)，而后者的干涉信號(hào)是頻率為f2 - fi的交流信號(hào)；當(dāng)M2鏡移動(dòng)時(shí)，前者的干涉信號(hào)是在最亮與最暗之間緩慢變化，而后者是使原來的交流信號(hào)頻率增減Af，仍然是交流信號(hào)。后者可用高放大倍數(shù)的交流放大器增強(qiáng)較弱的干涉信號(hào)，克服由于光強(qiáng)衰減、大氣擾動(dòng)及電子線路直流漂移等因素對(duì)測(cè)量精度的影響。目前，雙頻測(cè)長(zhǎng)的精度已超過0. Olym，是工業(yè)測(cè)長(zhǎng)中較精密的儀器。

   (3)單頻干涉儀對(duì)裝置的機(jī)械振動(dòng)十分敏感，因此對(duì)工作臺(tái)穩(wěn)定性有嚴(yán)格要求。振動(dòng)越強(qiáng)，干涉條紋的來回移動(dòng)越激烈，計(jì)數(shù)時(shí)必須相應(yīng)地進(jìn)行加減；雙頻測(cè)長(zhǎng)儀的干涉條紋是運(yùn)動(dòng)的，按時(shí)間順序入射到光檢測(cè)器上，因而對(duì)振動(dòng)不敏感，防振要求不嚴(yán)，可以用于計(jì)量室之外的車間工作環(huán)境等。