如圖9 -12所示，雙頻激光被偏振分光鏡分成兩束，振動(dòng)方向與紙面正交的厶向上通過(guò)A/4波片， ICE2PCS02并被角錐棱鏡反射回來(lái)。振動(dòng)方向與紙面平行的fi向右通過(guò)A/4波片，被透鏡聚焦到裝在待測(cè)振動(dòng)體上的反射鏡或拋光物面S上，S左右振動(dòng)，引起反射光的頻移甑。這兩束光在偏振分光鏡匯合前，都兩次通過(guò)A／4波片，振動(dòng)方向轉(zhuǎn)過(guò)900。原先透過(guò)偏振分光鏡的fi現(xiàn)在被反射向下，原先被反射的厶現(xiàn)在透過(guò)偏振分光鏡向下。f2與fi+Alfi匯合后，經(jīng)直角棱

鏡反射到光檢測(cè)器，轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，再經(jīng)過(guò)專(zhuān)門(mén)的電路處理，就可得到待測(cè)的振幅、頻率或周期。

  圖9 -12雙頻激光測(cè)量振動(dòng)原理圖

   9 -1  簡(jiǎn)要說(shuō)明二維色分離測(cè)速光路與二維偏振分離測(cè)速光路的工作原理。

  9-2  與單頻激光干涉測(cè)長(zhǎng)相比，雙頻激光測(cè)長(zhǎng)有哪些優(yōu)點(diǎn)？

  9-3結(jié)合光路圖簡(jiǎn)述雙頻激光精密測(cè)角和檢測(cè)直線(xiàn)度的工作原理。