雙頻激光干涉儀可以代替笨重的標(biāo)準(zhǔn)平尺和l¨m示值的千分表來檢測軌床工作臺的直線度。ICE2PCS01G其結(jié)構(gòu)原理如圖9 -11所示，雙頻激光束經(jīng)分束鏡1入射到渥拉斯頓棱鏡2上。因fi、f2兩個偏振光通過渥拉斯頓棱鏡折射率不同，出射光被分成互成很小角度p的兩束光，從精確匹配的雙面反射鏡3上沿原路返回。在渥拉斯頓棱鏡處重新匯合的光束，經(jīng)分束鏡l、全反射鏡4和檢偏振鏡，入射到光檢測器。

   圖9 -11直線度測量原理圖

   如雙面反射鏡3沿石軸平移到位置3 7，fi和厶兩束光光程相等，所產(chǎn)生的多普勒頻差Afi =Af2，在減法運(yùn)算器中互相抵消，計(jì)算機(jī)的顯示值不變。

   如果在移動中，雙面反射鏡沿y方向從A落到B點(diǎn)，則fi酌光程比原先減少2AC，而厶的光程卻增加2BD，兩路總的光程差為2（AC +BD）。這是雙頻激光可直接測出的長度量，由圖9 -11可知由計(jì)算機(jī)計(jì)算并顯示出檢測結(jié)果。

   以上裝置也可用來測量機(jī)床上不同部件間運(yùn)動的平行度，加上一個五角棱鏡，又可用來測量機(jī)床的垂直度。