圖12 - 64所示為激光干涉儀測(cè)長(zhǎng)的基本原理圖，實(shí)物照片如圖12 - 65所示，它是以IRM-V536/TR1激光光波的波長(zhǎng)為基準(zhǔn)對(duì)各種長(zhǎng)度量進(jìn)行精度測(cè)量。主要由以下幾部分組成：

   (1)激光光源。一般采用單模穩(wěn)頻氦一氖氣體激光器，使用輸出波長(zhǎng)A’=0.6328 htm的紅光。這種激光器的頻率可達(dá)l03 Hz，相干長(zhǎng)度可達(dá)300km。

   (2)干涉系統(tǒng)。是基于邁克爾遜千涉的原理，被測(cè)長(zhǎng)度位移量通過干涉儀的測(cè)量臂引入，對(duì)光波的相位進(jìn)行調(diào)制，再由干涉儀中兩臂光波的干涉實(shí)現(xiàn)對(duì)位移量的解調(diào)。

   (3)數(shù)字顯微鏡。用來對(duì)所測(cè)物體進(jìn)行瞄準(zhǔn)，使干涉儀的干涉信號(hào)處理部分和被測(cè)量之間實(shí)現(xiàn)同步。

   (4)干涉條紋計(jì)數(shù)和記錄顯示部分。對(duì)干涉條紋計(jì)數(shù)并顯示出來。

   由激光器發(fā)出的光經(jīng)分光鏡分為兩束，一束射向干涉儀的固定參考臂，經(jīng)參考臂反射鏡返回后形成參考光束；另一束射向干涉儀測(cè)量臂，測(cè)量臂中的反射鏡將隨被測(cè)長(zhǎng)度位移而移動(dòng)，這一束光從測(cè)量反射鏡返回后形成測(cè)量光束；測(cè)量光束和參考光束的相互疊加干涉成干涉信號(hào)。干涉信號(hào)的明暗變化次數(shù)直接對(duì)應(yīng)與測(cè)量鏡的位移。

   因此，由數(shù)字顯微鏡發(fā)出對(duì)Ⅳ的起始計(jì)數(shù)點(diǎn)，便可以通過對(duì)Ⅳ的計(jì)數(shù)得出位移￡的值。

   硬件的構(gòu)建

   激光器被固定在工作平臺(tái)的一端。移動(dòng)平臺(tái)可以在工作平臺(tái)上沿導(dǎo)軌平移，線紋尺安裝在移動(dòng)平臺(tái)上隨其一起移動(dòng)，平臺(tái)上上裝有反光鏡。線紋尺上方裝有CCD進(jìn)行瞄準(zhǔn)和拍攝。