超高精度：直線位移精度為小于0.1斗m，主軸回轉(zhuǎn)精度為0.Oll/t,m~0.1ym，圓分度精度為<0.2”。

   由于精度等級(jí)不同，EP1C20F400C6N在設(shè)計(jì)時(shí)無論是精密機(jī)械系統(tǒng)還是控制系統(tǒng)都有很大的差異，甚至導(dǎo)致實(shí)現(xiàn)的原理不同，價(jià)格差別很大。高精度的儀器或設(shè)備，在低精度場(chǎng)合使用，不經(jīng)濟(jì)；相反又達(dá)不到使用的目的，所以精度必須與弳濟(jì)性相匹配。

   另外，儀器的精度也必須與被測(cè)參數(shù)的精度相匹配。通常，儀器精度應(yīng)為被測(cè)參數(shù)精度的1/3。對(duì)于高精度儀器，其設(shè)計(jì)精度也可取為被測(cè)參數(shù)精度的1/2~1/10。

   被測(cè)參數(shù)的數(shù)值范圍

   要求儀器的測(cè)量范圍要大于被測(cè)參數(shù)的數(shù)值范圍，但不能超出過多，這樣會(huì)對(duì)儀器的整體尺寸以及制造成本產(chǎn)生影響。

   被測(cè)參數(shù)的性質(zhì)

   被測(cè)參數(shù)是單值參數(shù)、復(fù)合參數(shù)，還是直接測(cè)量參數(shù)、間接測(cè)量參數(shù)。

   被測(cè)參數(shù)的狀態(tài)

   被測(cè)參數(shù)是瞬態(tài)量、穩(wěn)態(tài)量，還是動(dòng)態(tài)量、靜態(tài)量等。

   儀器的測(cè)量原理必須嚴(yán)格與被測(cè)參數(shù)定義本身相符合，否則會(huì)出現(xiàn)原理或數(shù)據(jù)處理方法上的錯(cuò)誤，造成設(shè)計(jì)失敗。

   了解被測(cè)參數(shù)載體（被測(cè)對(duì)象）的特點(diǎn)

   被測(cè)參數(shù)載體即被測(cè)對(duì)象，一般是各種各樣的機(jī)械零件、電器元件或各種信號(hào)，如光號(hào)、電信號(hào)等。對(duì)于幾何量測(cè)量，被測(cè)對(duì)象則是這些零件上的各種機(jī)械零件，被測(cè)參數(shù)則是這些零件上的各種幾何量或物理量。對(duì)于電信號(hào)指的是電壓、電流或數(shù)字信號(hào)還是模擬信號(hào)等。

   為了設(shè)計(jì)好儀器，必須了解有關(guān)被測(cè)參數(shù)載體的大小、形狀、材料、重量、狀態(tài)等特點(diǎn)。

   了解儀器的功能要求

   儀器的功能是指儀器的用途，儀器的檢驗(yàn)效率；儀器的承載能力；儀器的操作方式（自動(dòng)、手動(dòng)）；儀器的外形尺寸和重量要求以及測(cè)量結(jié)果的顯示方式等。