儀器設(shè)計有兩套測量系統(tǒng)對上工作臺移動過程申在水平面內(nèi)的平移和轉(zhuǎn)角進(jìn)行測量并進(jìn)行校正， F75111RG以補(bǔ)償阿貝誤差。

   上工作臺運動中水平面內(nèi)的平移測量及校正原理如圖2 -28所示。在儀器底座的左側(cè)安置有瞄準(zhǔn)影像投影器。6V 5W的光源l照明細(xì)絲分劃板2，并通過長焦距透鏡組3，經(jīng)固定在上工作臺上的五角棱鏡4和直角棱鏡5組合體轉(zhuǎn)向，把細(xì)絲影像投射到瞄準(zhǔn)光電顯微鏡的狹縫6平面上。光電顯微鏡裝在固定于底座上的支架中。因此，當(dāng)上工作臺在移動過程中發(fā)生平移時，五角棱鏡和直角棱鏡跟著一起平移，使得細(xì)絲影像在狹縫平面上的位置有所改變，破壞了原來的瞄準(zhǔn)狀態(tài)，引出一個電壓輸出量。此電壓施加在兩個壓電陶瓷9上，使上工作臺產(chǎn)生平移，直到光電顯微鏡輸出為零為止。由圖2 -28可見，當(dāng)工作臺平移距離口時，由于直角棱鏡的又一次反射，使兩次轉(zhuǎn)向后的光軸偏離原光軸距離為20，故放大了一倍。

   上工作臺運動中水平面內(nèi)的扭擺（轉(zhuǎn)角）測量及校正原理如圖2 - 29所示。這里采用了激光小角度測量法。在上工作臺的左部裝了一對角耦棱鏡。若上工作臺移動過程中產(chǎn)生轉(zhuǎn)動，角耦棱鏡3相對于角耦棱鏡8所對應(yīng)的程差將有增大或縮短。這樣，根據(jù)測得

的偏差值的正負(fù)方向，通過電子線路，使壓電陶瓷5作相應(yīng)的伸長或縮短，以補(bǔ)償上工作臺在運動中產(chǎn)生的在水平面內(nèi)的扭擺（轉(zhuǎn)角）。