本書前幾章主要闡述單一光源與分立敏感元探測器集成封裝于微型氣室光路的檢測原理、 AT49F512-70TC方法及應用分析，隨著目前MEMS及集成技術的發(fā)展，新材料、新工藝及新方法將促使這種檢測模式向微小型方向發(fā)展，作者受前期研究工作及多年來從事微納傳感器及其系統(tǒng)集成工作的啟發(fā)，本章主要提出了一種基于黑硅吸收層的多層納米膜探測器和一種集紅外光源、參比敏感元及三氣體敏感元于一體的MEMS紅外氣體傳感器新結構。此研究同時也得了國家自然科學基金重點項目的資助，擬計劃在5～10年內(nèi)實現(xiàn)集成納米結構光源與多敏感元一體化的MEMS紅外氣體傳感器，并將希望廣泛應用于物聯(lián)網(wǎng)領域的需求中。

    基于非色散紅外( NDIR)吸收光譜技術的紅外氣體傳感器克服了以往催化原理、電化學原理氣體傳感器容易中毒老化、壽命短等缺點，具有檢測準確度高、量程大、可靠性高、使用壽命長等公認的優(yōu)點，從而成為研究的熱點和未來發(fā)展方向。但是長期以來由于傳感器基本為單一光源與分立敏感元集成外加氣室光路的模式，致使其沒有得到廣泛的推廣應用，更重要的是國內(nèi)產(chǎn)品基本上均為進口國外核心元件進行組裝，圖8.1所示為紅外氣俸傳感器的發(fā)展趨勢分析。因此，面向物聯(lián)網(wǎng)發(fā)展，研究滿足更高集成度、低成本、低功耗和長使用壽命等要求，開發(fā)具有自主知識產(chǎn)權的紅外氣體傳感器尤為迫切。