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半導(dǎo)體器件失效分析基本程序

發(fā)布時(shí)間:2015/6/26 20:02:05 訪問次數(shù):625

   現(xiàn)場(chǎng)使用失效的樣品的MC68360ZQ25VL失效分析基本項(xiàng)目與內(nèi)容,如表4.3所示。

   表4.3失效分析基本程序表

       

   習(xí)題

   1.討論電子元器件的失效物理模型有哪些?

   2.討論在二氧化硅的界面會(huì)有什么樣的污染,對(duì)器件的可靠性影響如何?

   3.什么是熱載流子效應(yīng)?試討論電荷泵測(cè)試的工作原理。

   4.什么是電遷移失效?討論如何避免電子元器件的此種失效。

   5.輻射損傷的來源有哪些?如何提高元器件的抗輻射能力?

   6.簡(jiǎn)述通常的失效分析程序及常用的設(shè)備。



   現(xiàn)場(chǎng)使用失效的樣品的MC68360ZQ25VL失效分析基本項(xiàng)目與內(nèi)容,如表4.3所示。

   表4.3失效分析基本程序表

       

   習(xí)題

   1.討論電子元器件的失效物理模型有哪些?

   2.討論在二氧化硅的界面會(huì)有什么樣的污染,對(duì)器件的可靠性影響如何?

   3.什么是熱載流子效應(yīng)?試討論電荷泵測(cè)試的工作原理。

   4.什么是電遷移失效?討論如何避免電子元器件的此種失效。

   5.輻射損傷的來源有哪些?如何提高元器件的抗輻射能力?

   6.簡(jiǎn)述通常的失效分析程序及常用的設(shè)備。



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