氫氣還原三氯硅烷
發(fā)布時間:2015/10/24 18:59:51 訪問次數(shù):1061
·氣體到多晶的轉(zhuǎn)變
·多晶到單晶、 MC9S12DG128BCPV摻雜晶棒的轉(zhuǎn)變
·晶棒到晶圓的制備
半導體制造的第一個階段是從泥土里選取和提純半導體材料的原料。，提純從化學反應開始，對于硅，化學反應是從礦石到硅化物氣體，例如四氯化硅或三氯硅烷．，雜質(zhì)，例如其他金屬，留在礦石殘渣里。硅化物再和氫反應（見圖3.3）生成半導體級的硅。這樣的硅的純度達99. 999 999 90/0，是地球上最純的物質(zhì)之一i3。它有一種稱為多晶或多晶硅( polysilicon)的晶體結構，
圖3.3氫氣還原三氯硅烷
·氣體到多晶的轉(zhuǎn)變
·多晶到單晶、 MC9S12DG128BCPV摻雜晶棒的轉(zhuǎn)變
·晶棒到晶圓的制備
半導體制造的第一個階段是從泥土里選取和提純半導體材料的原料。，提純從化學反應開始，對于硅，化學反應是從礦石到硅化物氣體，例如四氯化硅或三氯硅烷．，雜質(zhì)，例如其他金屬，留在礦石殘渣里。硅化物再和氫反應（見圖3.3）生成半導體級的硅。這樣的硅的純度達99. 999 999 90/0，是地球上最純的物質(zhì)之一i3。它有一種稱為多晶或多晶硅( polysilicon)的晶體結構，
圖3.3氫氣還原三氯硅烷
相關技術資料- 10-24氫氣還原三氯硅烷
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