永光化學(xué)電化處品保部/劉文治 臺(tái)灣由市場(chǎng)報(bào)告顯示，2002年全球光阻劑市場(chǎng)規(guī)模達(dá)6.9億美元，其中i-line光阻為光阻劑出貨大宗；在no-critical layer製程及6吋晶圓廠的需求中，仍為不可或缺的主力材料。永光化學(xué)有鑑於此，已完成開(kāi)發(fā)推出的epi660及epi670並持續(xù)供應(yīng)商等i-line光阻產(chǎn)品，提供6至8英寸晶圓保護(hù)層及離子植入層使用，此系列產(chǎn)品能兼具能符合半導(dǎo)體業(yè)界制程需求優(yōu)異的品質(zhì)特性；並能以及現(xiàn)地及時(shí)實(shí)時(shí)供貨的優(yōu)勢(shì)，降低因運(yùn)送貯存產(chǎn)而衍生的各種品質(zhì)變異問(wèn)題，以確保證產(chǎn)品制程的穩(wěn)定和安定性，切實(shí)滿足顧客的需求提升產(chǎn)品良率。 2002年全球ic光阻劑市場(chǎng)規(guī)模約達(dá)7億美元，其中i-line光阻為光阻劑出貨大宗；于非關(guān)鍵層(non-critical layer)制程及6英寸晶圓制程中，是不可或缺的主力材料。在g/i-line保護(hù)層與離子植入層光阻劑黃光制程當(dāng)中，制程寬容度與解析的需求可直接影響制程良率；永光化學(xué)針對(duì)此特性需求，提供品質(zhì)優(yōu)良、具備高制程寬容度與高解析能力的光阻劑產(chǎn)品，可直接有助于制程良率的提升。另外在耐蝕刻與耐熱特性上，永光光阻劑產(chǎn)品亦具有良好的產(chǎn)品特性，可配合制程條件、滿足顧客使用的需求。 為了不斷地追求解析的提升與疊對(duì)的精確；半導(dǎo)體業(yè)界從製程參數(shù)的調(diào)整、乃至新設(shè)備持續(xù)投資不遺餘力；而在對(duì)光阻劑的品質(zhì)控管上也日益嚴(yán)格。，半導(dǎo)體業(yè)界更強(qiáng)調(diào)重視供應(yīng)鏈管理的品質(zhì)管理系統(tǒng)，及的上游延伸，以scm供應(yīng)鏈管理的品保系統(tǒng)，對(duì)光阻劑供貨商實(shí)施品質(zhì)稽核與控管，以期先期品質(zhì)把關(guān)，期以達(dá)到全面品質(zhì)提升之目的。然而在日常的控管中，黃光製程業(yè)者卻仍不時(shí)為偶發(fā)的品質(zhì)異常所困惑：供貨商出貨保證正常品質(zhì)正常的產(chǎn)品光阻，卻在進(jìn)料日檢驗(yàn)中時(shí)卻發(fā)現(xiàn)或是膜厚或是曝光能量有異常。狀？在供貨商品質(zhì)稽核中品質(zhì)資料中顯示高度制程能力(high cpk level)的產(chǎn)品，卻在使用端發(fā)現(xiàn)有不相稱偏高的不良率。？需要質(zhì)疑供貨商的品質(zhì)保數(shù)據(jù)證；還是要無(wú)限提升cpk level的要求，由1.33到1.67再到2抑是3？而上述方向如此努力是否真能解決品質(zhì)問(wèn)題？凡此種種失控或是異常，其實(shí)均有脈絡(luò)可循，甚或都可經(jīng)由各項(xiàng)品質(zhì)統(tǒng)計(jì)工具先期預(yù)知而加以防范。， 在此永光公司以可由光阻制造商的專業(yè)角度，從產(chǎn)品對(duì)光阻品質(zhì)安定穩(wěn)定性方面的問(wèn)題，做一概略地介紹： 一、光阻產(chǎn)品劑成分中包含感光物的感光效能，可充分提供微影製成制程的功能要求，卻也因?yàn)楦泄馕锞哂泄鉄嵋赘屑叭芙舛容^差的特性，造成光阻劑會(huì)隨存放時(shí)間延長(zhǎng)增加而功能逐漸衰退，而存在一定的以致于使用效期普遍不長(zhǎng)。各光阻劑供貨商無(wú)不實(shí)施進(jìn)行衰退周期之測(cè)試，以提供客戶較佳的保存條件及有效使用時(shí)間期限的規(guī)范。以曝光能量為例，若以±5%為規(guī)格界線，可由實(shí)際保存溫度的長(zhǎng)期效能追蹤，或利用加速實(shí)驗(yàn)（accelerated tests with arrhenius 1st order reaction kinetic assumptions），以衰退曲線95%信賴區(qū)間對(duì)應(yīng)出產(chǎn)品衰退5%所需之時(shí)間周期（如圖一），以此周期為產(chǎn)品之有效使用時(shí)間。 二、然而當(dāng)光阻劑這些必須由海外供貨商遠(yuǎn)渡重洋運(yùn)送而來(lái)的時(shí)光阻劑，是否批次內(nèi)或批次間均有相同的效期保證呢？若以儲(chǔ)存時(shí)間為例，種種因?yàn)樯唐放蔚牟町�、時(shí)間的增加、儲(chǔ)存運(yùn)送環(huán)境的變遷及搬運(yùn)擾動(dòng)等因素，原先定義的品質(zhì)變異議亦會(huì)隨之而擴(kuò)大，衰退曲線95%信賴區(qū)間更會(huì)有明顯變化；也就是說(shuō)，當(dāng)使用點(diǎn) (point of use) 就是離生產(chǎn)時(shí)間點(diǎn) (point of production) 愈遠(yuǎn)久，儲(chǔ)存、運(yùn)送等無(wú)法掌握變量愈多，而有更明顯的品質(zhì)與效期差距。請(qǐng)?jiān)囅朐陬櫩蛡}(cāng)庫(kù)中千里而來(lái)的光阻劑，是否已產(chǎn)生了更大的差異常態(tài)，而存在了效期不同的品質(zhì)定期炸彈，若此以往突如其來(lái)發(fā)生的品質(zhì)異常，是否也如常態(tài)般不足為奇了吧�。ㄈ鐖D二、圖三） 例如若有某國(guó)外光阻廠商提供三、再以批次間品質(zhì)變異的角度觀之，各供應(yīng)商不斷努力的提升cpk level，但在顧客的使用上，是否真能在key parameter感受到如此的品質(zhì)結(jié)果呢？由生產(chǎn)時(shí)的品質(zhì)測(cè)試結(jié)果為例：若為cpk =1.3367的產(chǎn)品品質(zhì)，經(jīng)長(zhǎng)途運(yùn)送達(dá)到顧客端后的品質(zhì)再測(cè)試，批次間的差異或可能大幅增加，而使得cpk level可能會(huì)持續(xù)降低為1.00或更低，乃是無(wú)可避免的限制。曾經(jīng)抱怨過(guò)使用品質(zhì)與供應(yīng)商品質(zhì)文件的不符，或不良率不符合供應(yīng)商提出的cpk value嗎？若不能控制期間變異產(chǎn)生的可能，即使供應(yīng)商提出的cpk達(dá)到2或3，也無(wú)法反映在顧客需求上。（如圖三） 所以在控制產(chǎn)品光阻劑品質(zhì)安定性上，光阻劑廠商實(shí)驗(yàn)室內(nèi)衰退周期的測(cè)試只是其中最初步的品質(zhì)指針；后續(xù)lead time的控制、儲(chǔ)存運(yùn)送條件的單純化，才也是控制產(chǎn)品質(zhì)變異的最重要因素。永光化學(xué)在臺(tái)灣ic產(chǎn)業(yè)此供應(yīng)鏈環(huán)節(jié)中，以現(xiàn)地生產(chǎn)及時(shí)供貨，大幅降低因海空運(yùn)溫度變化、搬運(yùn)震蕩等劇