如圖9.39 (b)所示，二維PSD有4個電極，一對為x方向，另一對為少方向。光敏DAC0890CIJ面的幾何中心設(shè)為坐標(biāo)原點(diǎn)。當(dāng)光入射到PSD上任意位置時，在x和y方向各有一個唯一的信號與之對應(yīng)。同一維PSD的分析過程一樣，光點(diǎn)M的坐標(biāo)，k和k'為與PSD有關(guān)的常數(shù)。

   二維PSD主要用于測量光斑在平面的二維坐標(biāo)，其結(jié)構(gòu)有兩面分離型和表面分離型兩種形式。如圖9.40所示，兩面分離型是相互垂直的兩個信號電極分別在上下兩個表面上，個表面都是均勻屯阻層，與光點(diǎn)位置有關(guān)的信號電流先在一個面（上表面）上的兩個信號電極（3X，4X7）形成電流厶、Ix，，匯總后又在另一個面（下表面）的兩個信號電極(1Y，2Y')形成兩路電流/y. /y,o這種形式的PSD電流分路少，故靈敏度較高，有較高的位置線性度和高的空間分辨率。