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激光束在工件上的光斑圖樣

發(fā)布時間:2016/2/17 20:10:47 訪問次數(shù):658

   對準(zhǔn)光束是為了實現(xiàn)工件的對準(zhǔn)而設(shè)計的。只有當(dāng) AAT3242ITP-IP-T1被測表面位于測量透鏡焦平面,且射鏡10反射后由光電二極管陣列接收,對應(yīng)光敏單元有最大的光電信號輸出時,工件才對準(zhǔn)了。即通過辨別反射光斑中心二極管的輸出值是否為最大來確定工件是否對準(zhǔn)。

   隨著散射角大小的變化,散射光強也變化,因為激光經(jīng)工件表面反射后,其光能呈高斯分布。而光電池只能接收散射光帶的平均值,要進一步提高儀器的分辨率,就要遵循“真實地反映反射光和散射光帶的光能分布情況”這一原則。為此,采用了光電二極管線性陣列來作為光電傳感器。但是這種方案對工件的放置位置有一定的要求,即加工紋理方向大致要與線性陣列光電傳感器的軸向垂直,這是因為散射光帶與試件的加工紋理方向垂直。

   測量光束所在的平面大致與試件加工紋理方向平行,因此在工件表面上取一個平行于工件表面的剖面,如圖11.12所示,】,方向垂直于工件加工紋理方向,X方向平行于工件加工紋理方向,如圖所示,沿y軸方向在工件上取剖面A-A,y方向長度對應(yīng)光斑

的弦長口,并沿Ⅳ軸方向取科(翻《口)。這就是激光束在工件表面上的光斑圖樣。從微觀角度來說,這樣一個剖面可以當(dāng)怍具有不同光柵常數(shù)的反射光柵,顯然,衍射光譜圖樣中的O級、±1級……依次沿y軸方向分布,即有散射光帶與】,軸平行,因此射光帶就與工件加工紋理方向垂直。顯然,為了有效地接收散射光帶,線性光電二極管陣列就應(yīng)該與工件加工紋理方向垂直,這樣就存在對準(zhǔn)問題,如前所述,通過“光電對準(zhǔn)”就可以解決了。

       

   對準(zhǔn)光束是為了實現(xiàn)工件的對準(zhǔn)而設(shè)計的。只有當(dāng) AAT3242ITP-IP-T1被測表面位于測量透鏡焦平面,且射鏡10反射后由光電二極管陣列接收,對應(yīng)光敏單元有最大的光電信號輸出時,工件才對準(zhǔn)了。即通過辨別反射光斑中心二極管的輸出值是否為最大來確定工件是否對準(zhǔn)。

   隨著散射角大小的變化,散射光強也變化,因為激光經(jīng)工件表面反射后,其光能呈高斯分布。而光電池只能接收散射光帶的平均值,要進一步提高儀器的分辨率,就要遵循“真實地反映反射光和散射光帶的光能分布情況”這一原則。為此,采用了光電二極管線性陣列來作為光電傳感器。但是這種方案對工件的放置位置有一定的要求,即加工紋理方向大致要與線性陣列光電傳感器的軸向垂直,這是因為散射光帶與試件的加工紋理方向垂直。

   測量光束所在的平面大致與試件加工紋理方向平行,因此在工件表面上取一個平行于工件表面的剖面,如圖11.12所示,】,方向垂直于工件加工紋理方向,X方向平行于工件加工紋理方向,如圖所示,沿y軸方向在工件上取剖面A-A,y方向長度對應(yīng)光斑

的弦長口,并沿Ⅳ軸方向取科(翻《口)。這就是激光束在工件表面上的光斑圖樣。從微觀角度來說,這樣一個剖面可以當(dāng)怍具有不同光柵常數(shù)的反射光柵,顯然,衍射光譜圖樣中的O級、±1級……依次沿y軸方向分布,即有散射光帶與】,軸平行,因此射光帶就與工件加工紋理方向垂直。顯然,為了有效地接收散射光帶,線性光電二極管陣列就應(yīng)該與工件加工紋理方向垂直,這樣就存在對準(zhǔn)問題,如前所述,通過“光電對準(zhǔn)”就可以解決了。

       

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2-17激光束在工件上的光斑圖樣

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