在半導(dǎo)體、光學(xué)、精微機(jī)械等工業(yè)中日益要求有超高分辨率的表面輪廓測(cè)量?jī)x器，以AAT3242ITP-PP-T1解決超精細(xì)表面的質(zhì)量檢測(cè)問題，特別是對(duì)大功率激光器、先進(jìn)的X光設(shè)備、航天制導(dǎo)系統(tǒng)中的一些關(guān)鍵器件的無接觸檢測(cè)。

   盡管干涉式輪廓儀問世已久，但由于抗振動(dòng)干擾性能一般都比機(jī)械觸針式輪廓儀差，因此其分辨率較低而不能充分發(fā)揮干涉測(cè)量的優(yōu)勢(shì)。針對(duì)這一問題，20世紀(jì)80年代開始出現(xiàn)激光差動(dòng)干涉儀，然后又研制出同軸式干涉輪廓儀，以適應(yīng)精微產(chǎn)品的測(cè)試。目前國(guó)際上能達(dá)到亞納米級(jí)靈敏度的同軸式干涉輪廓儀雖已有成功的研究成果，但它們有的僅適用于測(cè)量粗糙度，對(duì)于具有特定形貌的精細(xì)表面不能正確測(cè)量；有的只在特定條件下才能測(cè)出真實(shí)形貌。下面介紹一種同軸式高分辨率激光輪廓儀，它在研制成功差動(dòng)干涉儀的基礎(chǔ)上，發(fā)展成新的同軸式輪廓儀．成功地克服了形貌測(cè)不準(zhǔn)的難題。