襯底材料――藍(lán)寶石、碳化硅、硅襯底

   到目前為止,Ⅲ族氮化物的生長(zhǎng)基本都是在其他襯底材料上的異質(zhì)外延。襯底材HA9P2525-5Z料的選擇主要考慮下列因素:

    ①襯底與外延薄膜的晶格匹配 晶格匹配包含兩個(gè)內(nèi)容:首先是外延生長(zhǎng)面內(nèi)的晶格匹配,即在生長(zhǎng)界面所在平面的某一方向上襯底與外延薄膜的匹配;其次是沿襯底表面法線方向的匹配。

    ②襯底與外延薄膜熱膨脹系數(shù)的匹配 熱膨脹系數(shù)的差異將導(dǎo)致外延薄膜質(zhì)量下降,在器件工作中還會(huì)由于發(fā)熱造成器件損壞。

   ③襯底與外延薄膜化學(xué)穩(wěn)定性匹配 襯底材料需要有良好的化學(xué)穩(wěn)定性。

   ④襯底材料成本可控,易于制備。

   應(yīng)用于G燜基外延片的襯底商品化成熟的襯底材料主要是藍(lán)寶石、碳化硅和單晶硅,而氮化鎵同質(zhì)襯底則是未來(lái)最理想的襯底材料。